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248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。  利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:  在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
辽宁大学 2021-04-10
一种多功能汽车发动机翻转装置
成果描述:本实用新型公开了一种多功能汽车发动机翻转装置,包括翻转机构和控制架,翻转机构包括翻转架、左支撑架、右支撑架、下支撑架和蜗轮蜗杆机体;翻转架左右两端通过轴承分别与左支撑架和右支撑架相连,翻转架由左框架和右框架构成,翻转架开设有压轨滑槽,压轨滑槽通过螺栓安装有翻转架压轨,翻转架压轨连接左框架和右框架;下支撑架由左支撑件和右支撑件构成;控制架上设有水平面板、翻转面板和导轨槽,翻转面板背面连接有支撑架,支撑架下端连接导轨槽;所述控制架通过螺栓连接槽和连接螺栓与左支撑架固定连接。本实用新型与现有技术相比的优点是:本实用新型结构简单,功能多样,工作可靠,既保证了发动机拆装的应用,也满足了发动机运行的需要。市场前景分析:本实用新型与现有技术相比的优点是:本实用新型结构简单,功能多样,工作可靠,既保证了发动机拆装的应用,也满足了发动机运行的需要。与同类成果相比的优势分析:国内领先
成都大学 2021-04-10
分布式驱动电动汽车动力学控制
在国内率先开展基于轮毂电机的分布式驱动电动汽车相关研究工作,首次实现分布式驱动电动汽车的规模示范和应用测试(2010年世博会),与国内主要的乘用车、大客车和特种车企业均有深入合作,相继研发十余款分布式驱动高性能轿车、低地板大客车和差动转向全地形特种车
同济大学 2021-04-10
248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
吡仑帕奈原料药产业化项目
成果描述:癫痫是一种由于神经元异常放电所致的反复发作的慢性综合征,为常见疾病,全球患病率约5‰~10‰,每年每万人中约有20~70个新发病例。除部分患者能通过手术等方式针 对病因进行治疗外,大部分患者需要长期服用抗癫痫药物(Antiepileptic Drugs, AEDs)。虽然目前世界上批准上市的AEDs超过20种,但现有AEDs单药或联合治疗后,仍有约1/3的患者呈现药物抵抗,为难治性癫痫,因此药品研发人员一直在致力于开发新的抗癫痫药。2012年10月美国FDA批准了一种新型口服抗癫痫药吡仑帕奈(perampanel)。 吡仑帕奈是第一个被批准上市的AMPA受体拮抗剂AEDs,临床试验已证实其在辅助治疗癫痫部分发作方面有明确的临床疗效,为难治性癫痫患者提供了一个新的用药选择。目前,国内多家一线药企已经开始在国内申报新药批件。 技术目前处于国内领先水平。由于其原料药制备工艺复杂,原料成本昂贵,从而对开发工作及市场拓展带来一系列困难。经过研发团队的攻关,使用新型催化剂,极大地降低了原料及生产成本,并已经进入小批量化生产。目前,是国内唯一的关键中间体供应商,客户包括国内四家一线药企,并出口进入国际市场,完成了相关的国外DMF文件注册。市场前景分析:全球患病率约为5‰~10‰,每年每万人中约有20~70个新发病例[1]。除部分患者能通过手术等方式针对病因进行治疗外,大部分患者需要长期服用抗癫痫药物。与同类成果相比的优势分析:HPLC>99%,国内先进。
四川大学 2021-04-10
人工神经网络芯片的研发与产业化
随着机器学习与人工智能的发展,传统的CPU已经无法满足大规模神经网络训练的需要。在当前机器学习与神经网络的热潮下,美国互联网和IC巨头纷纷推出自己的神经网络/人工智能芯片,抢占这一未来市场。我们研发的神经网络/人工智能芯片可以验证多种深度学习算法及应用,具有完全自主知识产权,是将来可以挑战美国人工智能芯片领域的一个重要突破。
电子科技大学 2021-04-10
QK纤溶酶系列专利产品产业化
中试阶段/n人体血管总长约9.6万千米,可绕赤道2.7圈。在人类所有的疾病中,因血液循环不畅造成的疾病占67%,我国每年约有700万人死于心脑血管相关疾病,患病总人数超过3亿,2015年全球心脑血管疾病相关市场超过1万亿美元。心脑血管疾病属社会重大疾病,严重危害国民健康,QK纤溶酶的产业化对于心脑血管疾病的预防和治疗具有重大的社会意义,同时具有巨大的市场应用前景和价值。新一代溶栓蛋白酶枯草杆菌QK纤溶酶从上千株菌株中筛选得到枯草芽孢杆菌Subtilisin-QK,发酵产生
武汉大学 2021-01-12
汽车轮胎压力监视系统(TPMS)设计与实现
南京工程学院 2021-04-13
低速电动汽车用开关磁阻电机及其电控系统
本项目所开发的一台用于轻量型纯电动汽车用三相4kW开关磁阻电机及其控制器,在同样的外径、铁心尺寸下,开关磁阻电机的爬坡能力、转矩出力、功率密度、效率等性能均优于同规格的串激有刷电机和无刷直流电机,得到了有关整车企业的浓厚兴趣,并正在组织装车测试以期待后续能有进一步的推广应用。能够实现无刷化,调速范围宽,启动转矩大,且可以灵活调整定子结构,形成一系列功率等级不同电机规格,包括48V、60V、72V等。此外,采用普通变频器驱动的双极性开关磁阻电机以完成研发。
东南大学 2021-04-13
汽车冷却液温度传感器测试装置
本专利公开了一种汽车冷却液温度传感器测试装置,属于民用技术领域。发明的目的是为了克服汽车冷却液温度传感器传统的单件检测法比较烦琐,不便于操作,安全系数低的缺点,公开了一种基于单片机的简单实用的冷却液温度传感器测试装置。 该装置由水槽、电加热棒、传感器安放支架、标准温度传感器以及单片机温度信号采集显示器五部分组成。它通过电加热棒给水槽中的水加热, 通过单片机温度信号采集显示器显示标准温度传感器测量到的水槽实时水温、同时单片机温度信号采集显示器也显示被测冷却液温度传感器的实时电阻值。该装置可安全、快速的测试汽车冷却液温度传感器的性能状况。
南京工程学院 2021-04-13
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