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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
可同时测定梨的多个指标参数的装置以及方法
本发明公开了可同时测定梨的多个指标参数的装置,包括:暗箱;位于所述暗箱内,用于测量梨的重量的电子称重旋转平台;位于所述暗箱内,用于测量梨的高度的高度测量装置;用于向梨发射检测光的光照模块;用于接收梨的反射光的光谱采集模块;用于接收所述电子称重旋转平台和高度测量装置的信号计算样品体积,以及用于接收所述光谱采集单元信号计算样品pH值的控制单元。本发明还公开了一种利用所述的可同时测定梨的多个指标参数的装置测定梨的多指标参数的方法。本发明实现了梨的重量、高度、体积以及pH值的多项物理参数的快速检测,检测快速准确,检测成本低,环境污染小。
浙江大学 2021-04-11
一种增强的基于轨迹重构的隐私保护方法
本发明公开了一种增强的基于轨迹重构的隐私保护方法。
电子科技大学 2021-04-10
高氧化度的天然高分子多糖的氧化方法
本发明公开了一种高氧化度的天然高分子多糖的氧化方法,以还原性多糖为原料在氧化剂的作用下制取水凝胶,采用如下的工艺条件:以高碘酸钠作为氧化剂,以至少一种以下物质:盐酸、硫酸、磷酸、醋酸、甲酸、柠檬酸、具有Lewis酸性质的绿色溶剂离子液为催化剂;调节体系的pH在酸性范围在室温下避光反应4小时,经后处理得到不同氧化度的天然高分子多糖高强度水凝胶。本发明方法获得的产品具有氧化度高,与其它反应物之间的交联更加容易,形成的化学键更加牢固的优点,能形成高强度水凝胶,并且凝胶的降解速率可以得到控制,适合用于制备骨组织功能材料。
西南交通大学 2016-07-05
一种用于蒸发发电的发电组件的制备方法
本发明公开了一种用于蒸发发电的发电组件的制备方法,该用于蒸发发电的组件包括载片、第一电极、第二电极和碳材料层,其制备方法具体为:首先,采用导电材料在电绝缘的载片表面制成两个互相平行的电极;然后采用印刷的方式将含有碳材料的浆料搭接在第一电极与第二电极之间;最后对印刷好的浆料层进行退火处理,在两个电极之间形成碳材料层。本发明提供的这种制备方法,采用浆料印刷退火的方法制备碳材料层,并且改进了浆料的材料及制备方法;以此
华中科技大学 2021-04-14
一种纳米颗粒增强的热障涂层的制备方法
本发明公开了一种纳米颗粒增强的热障涂层的制备方法,用于 在基体表面制备热障涂层,属于热障涂层制备领域,其包括 S1 将纳米 颗粒团聚成 60μm~120μm 的团聚粉末;S2 对团聚粉末进行热处理 以获得烧结粉末,所述烧结粉末粒径为 50μm~100μm;S3 将经步骤 S2 获得的所述烧结粉末送入基体被热源熔化后获得的熔池内,使烧结 粉末与熔池一起冷却凝固,以在基体表面制备获得纳米颗粒增强的热 障涂层。本发明方法过
华中科技大学 2021-04-14
一种基于用户距离的基站天线的调度方法
本发明公开了一种基于用户距离的基站天线调度方法,具体为:首先进行系统初始化,其中包括确定为保证通信的最低信干噪比和基站天线总数,首先基站向服务的本小区用户发送导频信号,用户接收导频信号并计算其与基站之间的距离,然后用户将其距离值发送给本小区基站,基站根据保证基站与用户通信的最低信干噪比以及用户到基站的距离来确定调度天线的个数。本发明适用于发送端配备多天线,接收端配备单天线的大规模多输入多输出蜂窝网络场景,根据小区中不同用户的信干噪比质量不同,基站调度天线数不同,节省了维持多余天线工作的静态能量。同时,每次调用后剩余的天线还可以为其他用户服务,从而提高了下行链路的平均能量效率。
华中科技大学 2021-04-11
抗金属NFC天线用磁性基板材料及产业化
主要功能:解决NFC(Near Field Communication)天线在金属环境下的失效问题 应用领域:配备NFC功能的智能终端及相关设备,如:智能手机及穿戴产品、智能家居及智能汽车等待 特色与先进性: ? 采用缓冲均化技术,实现了磁性基板用铁氧体粉料的稳定批量生产,性能偏差控制在±1%以内; ? 首次采用全相溶水性体系流延法制备NFC天线用铁氧体磁性系列基板材料,并厚度在0.06mm至0.3mm范围内可调,流坯体成型速度可大于12.7mm/s; ? 形成了NFC天线模组抗金属特性从性能仿真到参数评估的一整套参数仿真、评估模型; ? 形成了一系列自主知识产权,本项目目前为止共申请专利13项。在行业内形成了较强的影响力,并在行业内起到了带动作用; 性能指标达到世界先进水平,具体如下: ? 研制的NFC天线用铁氧体磁性基板材料其磁导率实部(μ′)大于175@13.56MHz,磁导率虚部(μ″)小于3.5@13.56MHz; ? 批生产制备的NFC天线用铁氧体磁性系列基板材料其性能指标达到磁导率实部(μ′)大于150@13.56MHz,磁导率虚部(μ″)小于2.5@13.56MHz。 能为产业解决的关键问题和实施后可取得的效果 自该项目立项之初,铁氧体型NFC天线基板材料长期被日韩企业所垄断,致使铁氧体型NFC天线基板材料在国内的销售价格一度高达3000元人民币/平米。此成果在于打破国外垄断,解决国内该材料空白的窘境,为NFC技术在国内的推广起到技术与价格的双重保障; 2013年被业界定位为NFC元年,ABI同时预测:至2017年具有NFC(近场通信)功能的设备年出货量将接近20亿部,其中主要为智能手机及其他消费类电子产品。 并随着物联网及智能家居及智能汽车的概念兴起,NFC标签作为物联网设备身份识别信息,需求量将大幅增加。NFC技术已经被视为智能家居及智能汽车各连接设备的接入方式,如果在不久的将来,智能家居及智能汽车进入家庭,则对NFC模块及其配件需求量将大幅增加,NFC天线基板材料的需求量也将随之增加。 综上,NFC技术正处在快速的推广期,NFC技术的应用将逐步在人们的日常生活中体现。NFC天线基板材料预期将有广阔的应用及市场空间。
电子科技大学 2021-04-10
TiC/金属复合涂层反应热喷涂粉末及其制备技术
项目的简单概述 本项目根据反应热喷涂的原理,研究开发了反应热喷涂粉末的前驱体碳化-复合技术,在此基础上成功开发了TiC/金属系列陶瓷-金属复合涂层反应热喷涂粉末。该产品技术具有如下特点:(1)所制备的粉末具有包覆结构,结合强度高,流动性好,可以保证喷涂过程中反应组元充分反应、获得优质的TiC/金属反应热喷涂复合涂层;(2)涂层中TiC颗粒细小(普通火焰喷涂≤300nm;等离子喷涂≤500nm),涂层与基体结合强度高;(3)对喷涂条件要求低,既可用于普通火焰喷涂,也可用于等离子喷涂;(4)生产和应用(喷涂)成本低。 项目的最新进展、所达到的水平 已申报2项国家发明专利,可产业化。 项目的关键数据,如性能指标等 ①喷涂方式:普通火焰喷涂或等离子喷涂 ②孔隙率:≤3%(普通火焰喷涂) ③涂层表面硬度:HRA≥90(普通火焰喷涂) ④耐磨性能:普通Ni60涂层的12~18倍(普通火焰喷涂)
北京科技大学 2021-04-11
高级金属加工工艺润滑剂生产技术及产品
金属加工过程中工艺润滑对保证加工过程的顺利进行、降低能耗以及改善加工制品的表面质量起着关键作用。而作为润滑剂与以往的机械润滑油不同,属高技术、高附加值润滑剂产品,而且生产工艺简单。 在该领域国内上述产品还未系列化生产,大部分仍需进口。 采用该技术可生产下列金属加工工艺润滑剂产品,并成果地应用于相关金属加工工艺过程: 铝材轧制工艺润滑剂(冷轧油、热轧乳化液); 铝线、铝管拉拔工艺润滑剂; 铜线、铜管拉拔工艺润滑剂; 钢丝拉拔润滑剂; 铝合金切削润滑剂; 钢板带冷轧润滑剂; 金属冲压润滑剂; 其它金属成型润滑剂。 上述产品均达到国内领先水平,或者到国外同类产品水平,使用该技术产生得工艺润滑剂已应用于金属加工生产,工业应用效果良好,可替代进口。而价格仅为国外同类产品的30%~70%。
北京科技大学 2021-04-11
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