随着支配半导体技术数十年的摩尔定律日益接近其发展极限，多种功能器件集成被认为是超越摩尔定律延续集成电路发展进程的重要途径之一，这就需要能够满足多种功能器件高密度集成的制造技术。多元兼容集成制造技术就是为此而开发的，该技术通过在更大范围内优选结构/功能材料组合，开发异质集成制造工艺，大大拓展了功能微器件创新设计和制造的腾挪空间。经过多年探索，目前已形成了涵盖金属、聚合物、陶瓷、复合材料的MEMS异质异构制造技术体系，并在多种类型功能器件研发中发挥了关键作用，初步展现了其基础性支撑作用，相关技术获得2016年度上海市技术发明一等奖。 微系统集成发展趋势 多元兼容集成制造技术  获奖情况 上海市技术发明一等奖2016年团队获奖 国家技术发明二等奖2008年 上海市技术发明一等奖2007年 超薄超快高热流密度微通道散热器 上海交通大学团队在长期研究经验和技术积累基础上，创造性地提出了不同高热导率材料组合构造的复合结构微通道散热器设计方案，并基于多元兼容集成制造技术完成了多种尺寸样品研制，其中，热源面积与常用功率芯片尺度相当的超薄散热器冷却能力达到800W/cm2以上，在保留传统微通道散热器良好系统兼容性和适用性的基础上达到了相当高的散热能力水平，为解决高功率芯片系统超高热流密度散热问题提供了一个深具可行性的解决方案。 高温薄膜温度传感器研究  发动机燃烧室等极端恶劣环境下（高温、强振动、强腐蚀等）的工作参数现场监测对传感器技术是严峻挑战，国内外研究广泛。交大团队基于特种材料微纳集成制造技术的长期积累，在高温绝缘薄膜材料、多层薄膜应力调控、曲面图形化和高温敏感介质等技术上取得了一定突破，成功开发了多种可与现场结构共型的高温薄膜传感器，具有体积小、环境扰动小、响应快、灵敏度高、可分布式安置等优点，该团队已经掌握了温度、应力/应变、热流等多种高温状态参数测量技术，适用温度在800-1300℃之间。 薄膜绝缘电阻随温度的变化及测试结构 高温薄膜温度传感器制造及曲面图形化技术 薄膜温度传感器在发动机不同部位测温需求 无线温度传感器测温系统 高性能转接板 基于转接板的多芯片封装是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是传统的硅转接板性价比不高，阻碍了广泛应用。上海交大团队基于非硅微加工技术的长期积累，突破了硅转接板绝缘层完整性和再分布层热隔离的难题，成功研制了漏电流极低的低成本高性能硅转接板。此外，还开发了复合材料非硅转接板，TCV陶瓷转接板，TGV玻璃转接板等各种三维封装基板，实验室能够针对不同类型器件三维高密度封装的具体要求，定制开发不同功能的专用转接板，为多功能、高密度、高功率、低成本封装提供个性化解决方案。 TSV-3D 高密度封装概念图  金属-聚合物-纳米复合材料非硅基转接板实物图片

  本项目系统全面地研究了采用熔融挤出/热处理/单轴拉伸法(MEAUS)制备锂电池用聚烯烃微孔隔膜的原理，成功地设计制造了国内第一条熔融挤出/热处理/单轴拉伸(MEAUS)法制备锂电池用聚烯烃微孔隔膜的工业化生产线。在此基础上，研发成功了锂离子动力电池PP/PE两层或三层复合隔膜产业化技术。拥有国内唯一动力锂电池隔膜产品的制造技术。

项目成果/简介:随着支配半导体技术数十年的摩尔定律日益接近其发展极限，多种功能器件集成被认为是超越摩尔定律延续集成电路发展进程的重要途径之一，这就需要能够满足多种功能器件高密度集成的制造技术。多元兼容集成制造技术就是为此而开发的，该技术通过在更大范围内优选结构/功能材料组合，开发异质集成制造工艺，大大拓展了功能微器件创新设计和制造的腾挪空间。经过多年探索，目前已形成了涵盖金属、聚合物、陶瓷、复合材料的MEMS异质异构制造技术体系，并在多种类型功能器件研发中发挥了关键作用，初步展现了其基础性支撑作用，相关技术获得2016年度上海市技术发明一等奖。微系统集成发展趋势多元兼容集成制造技术 获奖情况上海市技术发明一等奖2016年团队获奖国家技术发明二等奖2008年上海市技术发明一等奖2007年超薄超快高热流密度微通道散热器上海交通大学团队在长期研究经验和技术积累基础上，创造性地提出了不同高热导率材料组合构造的复合结构微通道散热器设计方案，并基于多元兼容集成制造技术完成了多种尺寸样品研制，其中，热源面积与常用功率芯片尺度相当的超薄散热器冷却能力达到800W/cm2以上，在保留传统微通道散热器良好系统兼容性和适用性的基础上达到了相当高的散热能力水平，为解决高功率芯片系统超高热流密度散热问题提供了一个深具可行性的解决方案。高温薄膜温度传感器研究 发动机燃烧室等极端恶劣环境下（高温、强振动、强腐蚀等）的工作参数现场监测对传感器技术是严峻挑战，国内外研究广泛。交大团队基于特种材料微纳集成制造技术的长期积累，在高温绝缘薄膜材料、多层薄膜应力调控、曲面图形化和高温敏感介质等技术上取得了一定突破，成功开发了多种可与现场结构共型的高温薄膜传感器，具有体积小、环境扰动小、响应快、灵敏度高、可分布式安置等优点，该团队已经掌握了温度、应力/应变、热流等多种高温状态参数测量技术，适用温度在800-1300℃之间。薄膜绝缘电阻随温度的变化及测试结构高温薄膜温度传感器制造及曲面图形化技术薄膜温度传感器在发动机不同部位测温需求无线温度传感器测温系统高性能转接板基于转接板的多芯片封装是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是传统的硅转接板性价比不高，阻碍了广泛应用。上海交大团队基于非硅微加工技术的长期积累，突破了硅转接板绝缘层完整性和再分布层热隔离的难题，成功研制了漏电流极低的低成本高性能硅转接板。此外，还开发了复合材料非硅转接板，TCV陶瓷转接板，TGV玻璃转接板等各种三维封装基板，实验室能够针对不同类型器件三维高密度封装的具体要求，定制开发不同功能的专用转接板，为多功能、高密度、高功率、低成本封装提供个性化解决方案。TSV-3D 高密度封装概念图 金属-聚合物-纳米复合材料非硅基转接板实物图片知识产权类型:发明专利 、 软件著作权 、 集成电路布图设计技术先进程度:达到国内领先水平成果获得方式:独立研究获得政府支持情况:国家级

本项目将研究CVD金刚石厚膜的制备技术，导丝模的超声微纳加工技术，最终制作出合格的CVD金刚石导丝模，内孔尺寸公差<0.1微米，内孔和外圆的同心度要求小于5mm，内孔表面粗糙度Ra<0.01mm，达到国际先进水平。 本项目涉及金刚石厚膜的制备到CVD金刚石导丝模的关键工艺，项目成功后，将研发成功具有我国自主知识产权的金刚石导丝模，对我国模具产业和精密加工技术的发展具有重要的推动作用。   应用范围： 该产品应用于电火花线切割机床上使用，可以保证电火花线切割的质量和工件的加工精度。  

中心通过“装备与工艺的协同创新”，创新发展了具有自主产权的大科学装置—MOCVD高端装备，并在硅衬底上生长第三代半导体InGaN黄光LED材料，取得了历史性突破，将黄光LED的光效由国际上报道的不足10%，提升到了27.9%，结束了国际市场上长期缺乏高光效黄光LED的局面。国际同行、诺贝尔奖获得者中村修二教授高度称赞这项成果：“硅基黄光LED的技术水平国际领先，这是属于中国人首次发明的照明技术，它有非常大的价值。”陈良惠院士领衔的12位业内专家，对

一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 高温是很多新材料及制造过程的必须，因为高温下很多反应才能够发生并且更快速的发生。然而现有高温合成与制造技术有以下缺点： 1、温度有限； 2、升降温慢； 3、能源时间成本高； 4、过程开发和控制不智能等。 高温可以实现毫秒或者秒级的材料制造，从而大大加速了材料开发制造过程，允许在短时间内合成制造出大量产品并收集其信息及数据，通过对数据的处理分析，利用机器学习及人工智能的方法去指导新材料开发及智能制造过程，实现材料开发与制造的智能化升级。

本项目系统全面地研究了采用熔融挤出/热处理/单轴拉伸法(MEAUS)制备锂电池用聚烯烃微孔隔膜的原理，成功地设计制造了国内第一条熔融挤出/热处理/单轴拉伸(MEAUS)法制备锂电池用聚烯烃微孔隔膜的工业化生产线。在此基础上，研发成功了锂离子动力电池PP/PE两层或三层复合隔膜产业化技术。拥有国内唯一动力锂电池隔膜产品的制造技术。

目前我国钢铁、石化、核工业等高温设备和管道保温材料，如玻璃棉、岩/矿棉、陶瓷纤维毡等无机保温材料，导热系数高（0.037～0.05W/(m•K)）、保温节能效果差；我国建筑和交通运输领域使用的聚苯乙烯、聚氨酯等有机保温材料（导热系数0.024～0.03W/(m•K)），耐温阻燃性能差，严重火灾频繁发生，安全隐患突出。针对钢铁、石化、核反应堆等高温工业领域对高性能保温绝热材料及其结构功能一体化的迫切需求。已提出微纳米纤维玻璃棉/低气体渗透膜材真空绝热复合材料结构设计及制备工艺方法，研发高速离心喷吹技术制备微纳米纤维玻璃棉芯材，并将芯材和HDPE/PET/Al/PA复合膜材真空封装。

滇西应用技术大学(以下简称“滇西大”)是2015年4月经教育部批准建设的全国首批应用技术大学。2017年5月，学校经教育部批准正式建立。滇西大作为新型的普通公办本科高校，主要培养区域经济社会发展所急需的应用型高层次技术技能人才。 滇西大充分借鉴德国、瑞士应用技术大学模式，采取总部加若干特色学院、应用技术研究院(1+N+M)的开放式办学构架，以及“政、产、学、研、用”一体化办学模式，按照“分层治理、产教融合、需求驱动、合作办学、开放衔接、省部共建”原则，从滇西经济社会发展的战略需求出发，以本科教育为主，高等教育、职业教育、继续教育融合发展。构建以岗位职业能力为标准的培养方案与课程体系，推行学历学位证书与职业资格证书“双证书”制度。 学校总部位于云南省大理州大理市，规划用地面积329 亩，总建筑面积约18.8万平方米。首批建设傣医药学院(位于西双版纳州景洪市)、普洱茶学院(位于普洱市思茅区)、珠宝学院(位于保山腾冲市)3个特色学院;2018年5月，学校直属的管理学院正式成立。学校总部成立滇西金融研究院(与中南财经政法大学、恒丰银行共建)、滇西职业教育研究中心，特色学院分别成立了应用技术研究中心。 学校充分嫁接教育部直属“985”“211”重点高校优质教育资源，目前已得到北京师范大学、北京中医药大学、东北师范大学、上海交通大学、浙江大学、华中科技大学、中国地质大学(武汉)、中南财经政法大学、中山大学、华南理工大学、云南大学、昆明理工大学、云南农业大学、大理大学等多所高校全方位的支持，与普洱茶集团、东方金钰、中国医学科学院药用物植物研究所云南分所等多家科研院所和行业企业合作办学，与多所部属高校开展经常性的访学项目，实现高层次技术技能人才立体化培养。 为尽快发挥试点示范作用，云南省教育厅同意2016年滇西大3个特色分别与大理大学、普洱学院、保山学院全面开展康复治疗学、茶学、工艺美术三个本科专业的合作培养工作。三个本科专业计划各招生100人，共计300人。2017年，学校圆满完成康复治疗学、傣医学、中药学、茶学、宝石及材料工艺学和产品设计6个专业480名招生计划，2017级学生目前已顺利转到各特色学院开始新学年学习。2018年学校增加了7个本科招生专业(健康服务与管理、市场营销、物流管理、食品科学与工程、植物科学与技术、资源循环科学与工程、休闲体育)和3个专科专业(工艺美术品设计、珠宝首饰技术与管理、休闲体育)，计划招生1050人(其中本科910人，专科140人)。 面向未来，学校将坚持立足滇西，服务云南，辐射带动周边，按照“创办一个学院，振兴一个产业，造福一方百姓，传承一方文化”的办学宗旨，致力于培养服务于区域特色优势产业转型升级和发展急需的生产、管理、服务一线的具有良好理论知识和人文素养、爱岗敬业的高层次技术技能人才，努力将学校建设成引领全省乃至西部具有国际竞争力、特色鲜明的高水平应用技术大学。

上海应用技术大学（Shanghai Institute of Technology），简称“上应大”，是全国最早以“应用技术”命名的市属公办普通本科高校。学校入选“教育部卓越工程师教育培养计划”、全国100所应用型示范本科高校建设单位、上海市首批深化创新创业教育改革示范高校，应用技术大学（学院）联盟成员，是一所以应用型学科支撑、技术创新导向，工科为主、经管文理多学科协调发展，特色鲜明的应用技术大学。2008年成为硕士学位授权单位并开始研究生教育。2017年起开展博士学位授予单位立项建设。2018年成为首批上海高水平地方应用型高校重点建设单位。学校在上海高校分类评价工作中连续2年位列“应用技术型”第一。根据科睿唯安ESI数据库2020年3月公布的最新数据显示，我校在全国高校ESI排名中名列第222位。学校立足于长三角一体化国家战略、上海“五个中心”和“四大品牌”建设，顺应国家和区域经济转型升级发展新形势、新需求和新挑战，构建了“香料香精化妆品和绿色化工”“功能新材料和智能技术与先进制造”和“艺术设计与文化创意”三个特色学科群。在人才培养上，以培养具有理想信念、家国情怀、扎根基层、勇担责任的高水平应用技术人才为己任，围绕“爱科技ASciT”（以职业需求为导向，聚焦未来工程师的9大核心能力素养）的养成，提出了具有“厚德精技”特质的“大国工匠”人才培养战略。学校现有8大学科门类，8个一级学科硕士学位授权点（30个二级学科硕士点和学科方向），6个硕士专业学位授权点。现有专任教师1168名，具有高级专业技术职称的教师539名。国家重点研发计划“纳米科技”首席科学家1人，国家突出贡献中青年专家1人，新世纪“百千万人才工程”国家级人选2名，上海市教学名师3名，上海高校特聘教授15 人，上海领军人才2名，上海市优秀学术带头人2名， 上海市优秀技术带头人2名，上海市曙光学者12人，上海市浦江人才计划11名，全国优秀教师2名。学校有奉贤校区和徐汇校区两个校区。下设19个二级学院（部），全日制本科生15791人，研究生1715人。毕业生广受用人单位欢迎，2019年本科毕业生就业率为99.35%，签约率为92.39%。学校与欧洲、美洲、亚洲、大洋洲、非洲以及港澳台等20多个国家(地区)的116所高校和科研机构建立了交流合作关系。分别与加拿大、美国和新西兰高校合作举办市场营销、机械设计制造及其自动化、电气工程及其自动化、应用化学4个本科中外合作办学项目。近三年，选派了294多名教师赴境外高校和科研机构进行科研合作和学术交流，175名海外教师来校参与教学和科研工作。学校自2007年开始招收外国留学生。