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一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺,属于微机电系统的封装方法,解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小,容易损坏,以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括:淀积吸气剂步骤;淀积薄牺牲层步骤;淀积缓冲腔牺牲层步骤;淀积厚牺牲层步骤;制作封装盖步骤;刻蚀释放孔步骤;去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短,密封质量低,封装尺寸大,工艺与标准 IC 工艺不兼容,成本高的问题,从而保证最里面的腔体气压;同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学 2021-04-14
芊生缘牌沙棘绿豆排铅咀嚼片(暂定名)
我国保健食品发展很迅速,与铅中毒―防重于治‖发展趋势吻合的 排铅消食保健食品将成为新经济增长点。该产品经具有国家保健食品评价资质的湖南疾病预防控制中心 动物功能评价结果提示对动物具有促进排铅的功能,人体试食提示具 有促进排铅功能,安全性评价提示 30 天喂养对大鼠未见明显毒副作 用。该产品除了具有排铅的功能还有消食的功能。该产品 2015 年已经报国家保健食品审评中心评审,根据 2018 年 5&nbs
兰州大学 2021-04-14
抗工艺涨落的自修调集成电路片上振荡器
本发明公开了一种抗工艺涨落的自修调集成电路片上振荡器,包括集成于同一芯片的用于产生基准脉冲的基准振荡单元,用于产生输出脉冲的待修调振荡单元,以及用于接收基准脉冲和输出脉冲,并根据接收到的基准脉冲和输出脉冲向待修调振荡单元发出相应的修调信号,控制待修调振荡单元对输出脉冲进行频率修调的自修调逻辑控制单元。由可片内集成的基准振荡单元提供频率调修所需的基准脉冲,并在修调完成后关闭基准振荡单元,实现了输出频率的片内自修调,避免片外修调,有利于降低芯片制备成本。且硬件结构简单,容易实现,并在不修调时,关闭基准振荡单元,降低芯片的功耗。
浙江大学 2021-04-13
芊生缘牌沙棘绿豆排铅咀嚼片(暂定名)
该产品经具有国家保健食品评价资质的湖南疾病预防控制中心动物功能评价结果提示对动物具有促进排铅的功能,人体试食提示具有促进排铅功能。
兰州大学 2021-01-12
泡沫炭表面原位合成Si3N4涂层材料
本发明涉及一种在泡沫炭材料表面原位合成Si3N4涂层的方法,属于新材料技术领域。其主要特点在于利用泡沫炭多孔结构及Si3N4纳米纤维复合体对自来水中颗粒及污染物的过滤和吸附功能实现软净水一体化功能。
中国地质大学(北京) 2021-02-01
一种去除半环表面多余橡胶的切割装置
成果描述:本发明提供了一种去除半环表面多余橡胶的切割装置,加工机械技术领域。它能有效地解决链条表面橡胶的多余部分的切割问题。包括机架和连接空压机的储气罐及气缸,储气罐设在机架下方,通过管路与气缸连接,调整平台通过螺栓与设在底座上的立柱连接,气缸通过其导向套与调整平台定位并固定,气缸的活塞与定制的法兰通过螺纹连接;法兰通过螺钉与连接板固定,连接板与上刀具安装座贴合设置并通过螺纹连接;下刀具安装座中设有一片刀口呈U型的刀片及两片刀口呈凹半圆的刀片,下刀具安装座通过贴合的表面安装在底座上,上刀具座工作面与下刀具座工作面对称,设有一片刀口呈U型刀片和两片刀口呈凹半圆刀片。主要用于切割链条半环橡胶。市场前景分析:机械工程领域。与同类成果相比的优势分析:技术先进,性价比较高。
电子科技大学 2021-04-10
高电阻率金属氧化物材料表面电镀技术
电镀作为金属材料的表面改性技术已经取得了很广泛的应用,近年来电镀也开始在非金属导电材料的表面改性领域取得相当规模的工业应用。但高电阻率氧化物材料表面金属镀覆一直以来不能采用电镀工艺,这是因为这类材料的电子电导小,电镀液中被镀金属离子不能从材料表面得到电子,所以不能沉积下来。传统的绝缘氧化物材料表面镀覆金属的方法有化学镀、真空蒸镀、溅射镀、涂覆金属浆料后再烧结等方法,各方法都有各自的优缺点。如含有氨水的化学镀银溶液不稳定,甚至有可能生成有爆炸危险的叠氮化合物。真空蒸镀和溅射镀有设备投资大、维护费用较高等缺点,涂覆金属浆料后再烧结的方法有金属层厚度不均匀等缺点。 我们发明了一种高电阻率金属氧化物材料表面电镀的技术,解决了多种高电阻率金属氧化物材料表面不能电镀的问题。高电阻率金属氧化物材料电镀的基本过程是首先对氧化物材料表面进行原子氢致电导改性处理,提高其表面电子电导,使材料表面出现半导化甚至金属化,然后在氧化物材料表面直接电镀金属层。我们在这个方向上已经进行了近十年的研究,发表了十几篇学术论文,申请了两项发明专利。      本技术适用于由氧化物功能材料制造的电子元器件表面电镀,也适用于氧化物材料颗粒或块体的电镀等,所得金属镀层厚度均匀,与氧化物材料表面具有良好的结合力。
北京科技大学 2021-04-11
金属表面取代镀铬镀镍微合金化处理技术
金属表面镀铬、镀镍能耗高,镀液处理成本高,环境污染严重。微合金化耐磨蚀技术,表面硬度达到镀硬铬要求,耐蚀性能优镀铬镀镍处理,生产过程绿色无污染,批量工业化生产具有显著的经济效益和社会效益。 微合金表面处理技术”是在金属表面纳米化、稀土助渗和低温渗氮/碳/金属技术的基础上自主创新发展而来的表面强化技术,通过氮、碳、硼等间隙原子及稀土、钽、钛、钨、钼、硅等微量合金元素的协同复合渗入,在钢铁零件表面形成具有精细微观结构的复合层,大大提高耐蚀性和耐磨性,解决了传统氮化存在的氮化层晶间脆化、不耐高温等缺点。
山东科技大学 2021-04-22
具有复合空穴结构表面的蒸发器热交换管
我校与江苏联合开发研制的具有复合空穴结构表面的蒸发器热交换管,其管外表面采用机械加工方法形成由带有横翅的翅片组成的复合空穴结构,用以强化热交换管外表面的沸腾换热,特别适用于在其管子外表面使它所浸放其中的液体沸腾汽化,或使流过管子外表面的液体蒸发,目前主要用于满液式制冷蒸发器中。这一发明是根据泡底液体微层蒸发理论和低液位沸腾换热实验中发现的现象提出的,采用一种机械加工方法使管外表面形成由带有横翅的翅片组成的复合空穴结构,用以压抑气泡的自由生长,改变气泡的形状,从而扩大泡底液体微层的面积,使热交换管外表面与管外液体之间的沸腾换热系数得到显著提高。产品适用于目前国内外中央空调系统蒸发器,并突破国外在这一领域的技术封锁,提高本土中央空调企业参与国际竞争的能力,促进本土中央空调机组的出口。主要性能指标 1.管外径18~25mm,每英寸齿数42~58个; 2.涡流探伤:符合GB/T5248标准;气密性试验:2.8MPa气压检测; 3.抗拉强度:≥205MPa;屈服强度:≥62MPa;延伸率:≥40%;晶粒度:≥0.015 4.沸腾换热系数:20kW/m2K
上海理工大学 2021-04-11
提高金属表面耐磨耐蚀的双辉渗金属技术
提高金属表面耐磨耐蚀的双辉渗金属技术是由太原理工大学和北京科技大学联合研制开发的基于提高合金表面耐磨耐蚀的一种新型的表面改型技术。该技术于1985年获得美国专利,而后技术发明人徐重教授又对该项技术进行了系统的研究和进一步完善。双层辉光渗金属技术是等离子表面冶金新技术,其基本原理是利用低真空条件下的气体辉光放电所产生的等离子体,使普通材料表面形成具有特殊物理化学性质的合金层,合金层中合金元素含量可以在百分之几到百分之九十以上的范围内变化,合金层厚度可以达到数百微米,如在普通钢表面形成高速钢、不锈钢和镍基超合金等。由于双层辉光渗金属技术是低温等离子技术与传统渗金属技术的有机结合,渗层是依靠扩散方法形成的,合金元素在表面与基体之间成梯度分布,渗层与基体之间是靠形成合金结合起来的,因此结合非常牢固,渗层不易脱落,这是金属涂镀技术所不及的突出优点。由此,该项技术开创了表面冶金新领域,具有广阔的市场应用前景。 本项目的研究和研制开发工作是在国家“863”计划资助下完成的。 可以通过不同的源极设计,利用双辉渗金属技术对材料进行表面改性,可以按用途不同分别获得提高材料表面耐磨、耐蚀、以及耐磨耐蚀的材料。如采用该技术在普通碳钢锯条上沿齿廓形成性能接近高速钢的合金表面层,其综合性能可以与当今世界先进工业国家锯切工业中广泛应用的双金属锯条相媲美。
北京科技大学 2021-04-11
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