本发明公开了一种三自由度超精密微动工作台，该工作台 X、Y和θ方向的运动由四个垂直布置在微动台外框架和内框架的直线电机提供，直线电机的动子安装在外框架的内侧，直线电机定子安装在内框架外侧。外框架由安装在外框架底部四角的四个圆形气浮轴承实现垂直方向的支承，内框架分别由环形气浮轴承和圆形真空预紧吸盘实现垂向的支承。微动台的位置信息由垂直安装在载物平台上的第一、第二平面配合激光干涉仪测量。本发明所提出的一种三自由度超精密微动工作台可实现大负载、大惯量、高精度的运动，该平台 X 和 Y 向的行程为 2mm，

本设备利用污垢形成机理，在永久性污垢形成之前，在线适时清洗，以保证在换热表面上不可形成永久性污垢，使换热器始终处于高效工作状态。该设备是适用于钢铁厂冲渣水余热回收、造纸厂黑液余热回收、 烟气余热回收等余热利用以及其它类似场所的通用换热器。

基于汽车制动系统减震单元开发的项目，研制一种用于汽车制动系统的低频振动吸收的被 动吸振器，以解决汽车制动系统的低频制动噪声。 鉴于所设计的减震元件，需要测量出所减震元件的固有频率以及减震效果，本项目自主研 发了振动测试教学试验台，本试验台是基于由美国国家仪器 (NI) 公司研制开发的LabVIEW平 台自主研发的。本试验台主要用于振动测试试验，可实现2层功能，即扫频试验和锤击试验， 可弥补市场上现有产品单一功能的缺陷，进行双通道同步采集。 一、扫频试验，即使用激振器产生激励信号。扫频试验是指在试验过程中维持一个或两个 振动参数(位移、速度或加速度)量级不变，而振动频率在一定范围内连续往复变化的试验。线 性扫描化是线性的，即单位时间扫过多少赫兹，单位是Hz/s或Hz/min，这种扫描用于细找共 振频率的试验。扫频试验作为环境模拟试验的一个重要分支，主要用于测试设备的共振频率， 进而研究其疲劳寿命和可靠性。 产品振动频响的检查 (即最初共振检查) ，确定共振点及工作的稳定性，找出产品共振频 率，以做耐振处理。 耐扫频处理：当产品在使用频率范围内无共振点时，或有数个不明显的谐振点，必须进行 耐扫频处理，扫频处理方式在低频段采用定位移幅值，高频段采用定加速度幅值的对数连续扫 描，其交越频率一般在55-72Hz，扫频速率一般按每分钟一个倍频进行。 最后共振检查：以产品振动频响检查相同的方法检查产品经耐振处理后，各共振点有无改 变，以确定产品通过耐振处理后的可靠程度。 同时本产品扫频试验还可以检验针对某一频率设计的减震器元件的减震效果。通过调整悬 臂梁的长度，可以使得悬臂梁的固有频率与设计的减震器的减振频率一致，通过实验可以很清 楚地看出减震效果。 二、锤击试验，即使用力锤产生激励信号。在实际结构或模型振动试验中，得出结构的自 振频率是许多实验的目的，用锤击法测出结构的自振频率是一种比较经济、理想的测振方法， 这种方法可实现多点激振 (用力锤对多点敲击) 和单点响应 (一个加速度传感器) ，在计算机上 实时显示锤击频响曲线，通过多次叠加平均计算出每个锤击测振点的时域图、傅里叶谱、自相 关、互相关，自功率谱、互功率谱、传递函数和相干函数。

一、 项目简介“硅单晶碱性抛光液及清洗液”项目,始自七十年代中期,不断对产品研发与升级。FA/O硅单晶碱性抛光液，具有较高的抛光速率，能有效去除衬底表面损伤层，表面微粗糙度较低，可解决衬底片结底不平引起的噪声增加、漏电流增大，实现了表面高完美性，提高了衬底片器件区的可靠性与衬底片良品率。FA/O硅单晶清洗液，采取特有的物理优先吸附，有效去除抛光片表面颗粒物、有机物沾污，清洗后衬底片表面重金属离子降至ppm级，达到了易清洗、高洁净。二、 项目技术成熟程度该项目的研发、应用，满足了硅单晶衬底片加工高去除速率、低表面粗糙度、高表面完美性、易清洗、高表面洁净、高可靠性等指标的工业要求。自1994年至今，产品已累积销售一千多吨，性能稳定、质量可靠。三、 技术指标（包括鉴定、知识产权专利、获奖等情况）抛光液抛光速率1.2-1.5um/min,粗糙度达A级。清洗剂可达到微电子的需求。研发的抛光液获国家1983年发明四等奖、1990年发明三等奖、清洗技术获1999年国家三等奖。抛光液、抛光清洗液列为国家级科技成果重点推广计划，列为国家重点新产品。申请专利授权中3项，授权6项。四、 市场前景（应用领域、市场分析等）据统计，仅中国（含台湾地区）硅单晶抛光液的年需求额40多亿元。FA/O硅单晶碱性抛光液，广泛用于硅分立器件、功率器件与集成电路衬底片加工。已多年供应国内华润华晶、洛阳鼎晶、深圳深爱等多家知名企业，被指定唯一用于国家航天神五至神十专用集成电路高可靠衬底抛光片加工，具有广泛的市场应用前景。FA/O硅单晶清洗液，广泛用于要求易清洗、高洁净的硅衬底片清洗。已被中科晶电信息材料有限公司等多家知名企业应用，市场应用前景广泛。五、 规模与投资需求（资金需求、场地规模、人员等需求）年产量5000吨的生产规模投资为约3000万元，需千级以上超净化厂房。可依产能需求调整资金投入。产品生产控制节点少，操作人员需求少，适于自动化生产。六、 生产设备低压真空系统、百级超净车间、去离子水系统等。七、 效益分析生产工艺与操作简单、成本低、环保性好，效益较高。八、 合作方式主要采取合作生产、代理代销，可提供技术支持与培训，或面谈。九、 项目具体联系人及联系方式（包括电子邮箱）项目联系人：刘玉岭 联系电话：022-60204128Email：liuyl@jingling.com十、 高清成果图片2-3张

重油及稠油的化学组成主要为稠环芳烃及大分子烃类，由于其极性大，分子量大，导致他们流动性及互溶性差，因而极易沉积，吸附在它所接触的界面上，表现在原油输送过程中，管壁沉积物增多，阻碍正常运输，必须定时清洗。针对重油及稠油清洗这一难题，本实验室经过多年研究，开发研制了ASPN-1系列产品。经综合评定ASPN—1效果符合工业要求，可直接进行产业化。ASPN-1具有以下优点，1 清洗速度快；2 表面油污去除彻底，使用周期长；3 无须加热，使用灵活，节约了能源；4 设备工艺简单，适合

产品详细介绍 全自动喷淋清洗消毒器 快速式 整个流程30分钟型号:JK-DY500外尺寸（长*宽*高）：1900*1345*1026mm容量：500L电源：380V/50Hz最大输入功率：30KW清洗程序：加酶快洗，标准清洗，高温清洗化学清洗，快速高温清洗，干燥标准车：清洗车一台，转运车2台（材质：sus316）清洗架层次：5层篮筐数量：15只开门方式：自动下开门最高消毒温度：98℃最高干燥温度：常温-110 ℃工作时间可调（min）：1-480加热方式：电加热清洗量（中型手术包）：21-23个清洗剂排放投量（ml/min）：150防锈剂排放投量（ml/min）：150排放方式：一个周期自动排放一次内舱材质：SUS316进口不锈钢板外壳材质：SUS304进口不锈钢拉丝门人机界面控制：彩色大触摸屏控制方式：进口西门子PLC机自动打印功能：微型进口打印机，显示AO值记录全过程整机重量为：560kg售后服务：公司根据客户需要负责安装、调试及相应人员培训，负责上门维修。终身维护。超过保修期，维修只收取零部件成本费。24小时售后维修电话：13275601658、0551-65683226

塑性精密成形是坯料在外力作用下，使金属在模具中发生塑性变形而成为所需形状、尺寸和性能的产品加工过程。该工艺能够解决材料切屑加工困难、加工量大、材料利用率低等问题，既减少了人力物力的浪费，又提高了产品的尺寸精度和使用性能。 1、铝合金、钛合金等温精密模锻工艺应用 某型号飞机铝合金法兰盘无斜度、无余量等温精锻件，图1所示，该锻件通过一次性成形达到零件外形设计尺寸，内孔和外形无须机械加工。 图1 铝合金法兰盘精密成型件 某型号飞机Ti-1023钛合金护板接头等温精锻件，图2所示，该等温精锻件外形无余量，为简单毛坯一次成形。   图2 钢板焊接件及钛合金精锻件 某型号Ti-1023钛合金摇臂等温精锻件，图3所示，已通过装机试飞测试，属于无斜度无余量精锻件。                                                                          图3(a) 钢摇臂机加件     图3(b) 钛合金摇臂等温精锻件 图4所示为某型号发动机TC6钛合金等温精锻件摇臂和指针。研制的钛合金等温精锻件的复杂程度处于国内领先水平。 图4 钛合金等温精锻件 2、液态模锻（挤压铸造）工艺应用 该工艺可解决铝合金小型复杂结构件的精密、高效的成型问题。针对气泵上盖零件，图5所示，实现了一模成形（多）两件、带侧孔抽芯、钢镶嵌件等工艺特点，简化了原加工工艺，降低了制造成本。 图5 气泵上盖液态模锻件 与某军工厂合作完成了多功能炮弹壳体液态模锻工艺研究，图6所示，炮弹毛坯内孔不加工，材料利用率大幅提高，加工工时大幅度下降，炮弹试验件经靶场试验测试满足设计要求。 图6 气泵上盖液态模锻件 某航空仪表电器厂传感器法兰盘，图7所示，材料为Ly12，采用液态模锻技术制取通用毛坯，替代原工艺采用的挤压棒料直接加工，可加工出8种尺寸规格的零件，降低了材料消耗，缩短了加工周期，节省了加工费用，已实现批量生产。 图7 气泵上盖液态模锻件 电器安装基板，如图8所示，材料为6063铝合金，采用液态模锻技术，实现了一模成形两件，将原数控加工的槽沟一次成形，尺寸达到设计要求，简化了该零件的加工工艺，缩短了加工周期，提高了生产效率。 图8 电器安装基板液态模锻件 3、铝合金精密冷挤压工艺应用 变形铝合金薄壁深筒“液压锁缸体”零件，图9所示，原工艺采用棒料直接加工而成，加工难度大、材料利用率低；利用冷挤压技术直接成形，挤压件要求外形及内孔不加工，表面质量要求高，通过工艺及模具设计优化，零件尺寸精度均达到设计要求，内外表面均不需要加工。 图9 液压锁缸体挤压件 手机电池用铝壳毛坯，图10所示，一次冷挤压成形工艺，铝壳壁厚0.3mm，外形尺寸可按要求设计，同时解决了挤压件的表面质量问题，所开发的工艺可用于成型矩形的各种尺寸规格手机电池铝壳。 图10 手机电池壳挤压件 铝合金电器屏蔽罩，图11所示，截面尺寸29×43mm，长度160mm，壁厚1.2mm，采用简单毛坯一次性挤压成形，表面质量好，尺寸精度高。 图11 铝合金电器屏蔽罩挤压件

低噪声精密运算放大器是现代无线通信雷达电子对抗系系统的前端，在放大信号的同时抑制噪声干扰.提高系统灵敏度。船舶和电子信息等各大军工系统的重点型号中均有应用。

为满足光电通讯、光学、信息等产业中小口径非球面光学玻璃透镜模具产业化的需求，研制了小口径非球面光学玻璃透镜模具超精密数控复合机床,具备纳米级精度斜轴镜面纳米磨削、斜轴磁流变研抛、在线测量补偿加工等功能，为小口径非球面光学透镜模具的产业化制造提供可靠的装备支撑。分辨率10nm，主轴回转精度50nm；加工对象为微小非球面透镜及模具；加工口径10mm以下；加工面形状精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。应用领域包括集成电路（IC）、发光二极管（LED）、光学光电、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、电子陶瓷、通讯、医疗器械等，能切割硅晶圆、砷化镓、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、铌酸锂、氧化铝、蓝宝石等。GUI交互界面。具备接触式测高及非接触式测高，刀痕检测，具有切割深度自动补偿，刀片破损补偿功能，能保证切割质量。

成果创新点 1.温飘、分辨率、稳定性等指标具有国际领先水平； 2.温度自补偿技术、信号源漂移自矫正技术、噪声抑 制技术等是主要创新点。 技术成熟度 小试中试阶段 市场前景 可用在大型天文望远镜中作为边缘传感器；可以用在 精密车床、电子显微镜、原子力显微镜、共焦显微镜等中。 转化计划 预期转化方式：自主转化寻求投资，已于天使基金接 触。