|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
一种金属半固态坯料的制备装置及其制备方法
（专利号：ZL 201510292612.7） 简介：本发明公开了一种金属半固态坯料的制备装置及其制备方法，属于金属材料与冶金技术领域。本发明的一种金属半固态坯料的制备装置，包括加热机构、坩埚和升降平台，其中，所述的加热机构包括交流电源和加热线圈，加热线圈通过导线与交流电源相连，且上述加热线圈包括第一线圈和第二线圈；坩埚固定于升降平台上且置于第一线圈和第二线圈内部；本发明的一种金属半固态坯料的制备方法，包括循环重熔处理工序，其循环重熔处理主要是通过交替关闭第一线圈和第二线圈，控制金属熔体的中心温度处于其半固态温度区间，上下循环地移动坩埚来进行的。通过使用本发明，可以得到纯净无污染的金属半固态坯料，设备和操作简单，成本低，广泛适用于各种合金材料。
安徽工业大学
2021-04-11
浙江省科学技术厅征求《关于深化省重大科技项目管理 加快推进关键核心技术攻坚突破的若干意见（征求意见稿）》意见的通知
为全面贯彻省委省政府关于强力推进创新深化改革攻坚开放提升的决策部署，扎实推进“315”科技创新体系建设工程，深入开展关键核心技术攻坚突破行动，加强项目全生命周期管理，推进政产学研协同攻关，充分发挥政府重大科技创新组织者作用。
浙江省科学技术厅
2023-03-03
浙江省科学技术厅征求《关于深化省重大科技项目管理 加快推进关键核心技术攻坚突破的若干意见（征求意见稿）》意见的通知
为全面贯彻省委省政府关于强力推进创新深化改革攻坚开放提升的决策部署，扎实推进“315”科技创新体系建设工程，深入开展关键核心技术攻坚突破行动，加强项目全生命周期管理，推进政产学研协同攻关，充分发挥政府重大科技创新组织者作用。
浙江省科学技术厅
2023-03-03
中国高等教育学会关于召开生态文明与绿色低碳人才培养论坛的通知
为深入贯彻党的二十大精神，树立新发展理念，促进绿色低碳发展和生态文明建设，落实“深入实施科教兴国战略、人才强国战略、创新驱动发展战略，开辟发展新领域新赛道，不断塑造发展新动能新优势”的行动指南，围绕高校立德树人根本任务，更好地培养具有“社会主义生态文明观”的绿色低碳人才，经研究，中国高等教育学会决定举办生态文明与绿色低碳人才培养论坛。
中国高等教育学会
2023-03-21
南京信息工程大学余振教授在《Nature Communications》发表中国陆地碳汇最新研究成果
近日，应用气象学院余振教授联合中国林业科学研究院、北京大学、法国气候与环境科学实验室、爱荷华州立大学等国内外十二家单位的研究人员，在综合性期刊《Nature Communications》发表了题为“Forest expansion dominates China’s land carbon sink since 1980”的研究论文。
南京信息工程大学
2022-10-12
“智汇鲁渝·技转未来”高校技术转移发展大会在重庆举行
大会深入贯彻落实东西部协作部署要求，聚焦鲁渝两地科技创新与产业发展需求，汇聚两地政府部门、高校、科研院所、重点企业及创投机构等多方力量，搭建高效协同的技术转移交流合作平台，共商高校科技成果转化路径，推动产学研用深度融合。
云上高博会
2026-04-17
高校区域技术转移转化中心工作推进座谈会召开
会议对区域中心建设进行再推进、再部署，加快在促进创新链产业链资金链人才链深度融合、推动科技成果高效转化应用上探索新途径，更好支撑培育发展新质生产力。
微言教育
2026-04-24
材料与物理学院煤基燃料电池团队在高温电解及CO2资源化方面取得研究进展
固体氧化物电解池（SOEC）是固体氧化物燃料电池（SOFC）的逆过程，图一所示，SOEC通过电解H2O产生氢气，通过电解CO2减少CO2排放，并对H2O/CO2进行共电解以产生用于化工生产的H2/CO合成气。其产品可应用于炼钢、化工、农业、航空航天和医疗等众多领域。
中国矿业大学
2022-06-01
低熔点复合粉末制备
铁粉作为工业的主要原材料，广泛地应用在机械、冶金、化工、航空航天材料领域。铁基金属粉末作为粉末冶金工业的基础原材料，它的产量、品质决定着粉末冶金工业的发展。但铁粉也存在着一些缺点，如易腐蚀，耐氧化稳定性差，表面容易形成氧化层。用镍磷包覆铁粉可以取代镍、铁的混合粉末，降低生产成本，改善混合粉末的流动性、均质性（没有组成偏析）、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性。本项目的目的是提供一种简单、易操作、成本较低的制备镍磷包覆铁粉的化学镀方法，制得的铁粉表面镍磷镀层均匀。该项目具有操作方便，包覆均匀，成本低廉等优势，发明的这种工艺同样可以应用于其他金属粉末，如银粉、铜粉。铁粉表面化学镀镍磷合金后，耐蚀、抗氧化性能大大提高。
华东理工大学
2021-04-11