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一种光刻机自动调焦方法及装置
本发明公开了一种光刻机自动调焦方法及装置，其方法是将平行光束经第一狭缝投射至硅片表面，再经振动反射镜扫描后通过第二狭缝，由光电探测器接收光强信号，然后通过提取光强信号中二倍于扫描频率的频域成分得到硅片的粗调量，通过提取光强信号中一倍于扫描频率的频域成分得到硅片的精调量，最后由驱动装置调整硅片至焦点位置。调焦装置主要由两个狭缝、一个振动反射镜、光电传感器、驱动台和若干光学镜片组成，信号处理过程由计算机编程完成。该方法与装置相较于以往对比光斑强度进行调焦的方式，具有结构简单、响应迅速、精度高(优于 0.
华中科技大学
2021-04-14
一种基于虚拟上位机的数控系统
本发明公开了一种基于虚拟上位机的数控系统，包括设置在远 程服务器上的虚拟上位机、位于本地的数控系统下位机、以及用于人 机交互的人机交互设备，其中人机交互设备用于提供人机交互输入/输 出接口；虚拟上位机上集成有人机交互模块、非实时/半实时性任务执 行单元、以及下位机控制单元，上位机接收数控加工指令并通过非实 时/半实时任务执行单元进行处理以形成机床控制指令，进而通过下位 机控制单元将控制数据利用网络传输至本地下位机；本地下位机控制机床执行实时性的运动控制和逻辑控制。本发明基于虚拟化技术实现 对数控系统上下位机架构的全新设计，解决目前数控系统存在的数据 处理能力、HMI 功能扩展以及远程加工受限的问题。
华中科技大学
2021-04-11
SMART PLUS系列超纯水机（一级水）
项目
Smart Plus-N
Smart Plus-NT
Smart Plus-NE
Smart Plus-NET
Smart Plus-EP
Smart Plus-EPT
Smart Plus-P
Smart Plus-PT
进水水源
＜ 400μS/cm（市政自来水）
RO或蒸馏水
进水压力
0.1-0.5 MPa
-
RO脱盐率
≥98%（在特定进水条件下）
-
RO制水量
30L/H@25℃
30L/H@25℃
15L/H，双级RO
-
RO电导率*
< 20 μS/cm
-
-
-
高纯水电阻率
-
＞10MΩ.CM
＞10MΩ.CM
-
配置EDI
否
是
是
否
TOC在线监测
NT型含有
NET型含有
EPT型含有
PT型含有
超纯水电阻率
18.2 MΩ?cm@25℃
总有机碳TOC**
＜10ppb
颗粒物
< 1/ml （配 0.22 μm 终端滤器时）
微生物
< 1cfu/ml （配 0.22 μm 终端滤器时）
热源含量
< 0.001 Eu/ml （配进口超滤柱时）
*典型值，RO产水的电导率受自来水进水电导率的影响
**TOC含量直接受到进水条件和采样操作环境的影响
备注：含超滤时，超纯水产水量会下降30%左右
力康国际贸易（上海）有限公司
2022-06-27
基于超表面的光偏振控制的透反射一体式转换器
本发明涉及一种基于超表面的光偏振控制的透反射一体式转换器，包括上层的纳米二聚体阵列和下层的衬底，衬底平面为xy轴平面，x轴垂直于y轴，两个结构材质完全相同的半导体圆柱体纳米结构间隔固定距离排列构成纳米二聚体，纳米二聚体中两个圆柱体中心连线方向为二聚体轴方向，即x轴方向；衬底平面上的纳米二聚体阵列为沿x轴、y轴周期排列的纳米二聚体阵列。
上海理工大学
2021-04-10
一体式悬浮载体生物流化床处理村镇生活污水的研究
技术成熟度：理论突破
反应器采用一体式生物流化床，好氧区，投加了悬浮载体果核活性炭，形成活性污泥及生物膜的有机结合体；缺氧区，安装三相分离器及搅拌片，使泥水混合均匀，能够及时排出反硝化所产生的氮气，进而提高脱氮效率。
设备所有结构均在同一壳体内，工艺运行方式灵活，由于其运行过程中不需额外投加碳源和絮凝剂，其运行费用较低。针对我国农村污水处理面临的不易聚集处理的问题，这种单体新型污水处理设备对我国农村污水处理有着较大的实用潜力。
运用一体式生物流化床处理村镇小区生活污水，为该工艺的应用推广提供科学的运行控制参数。
针对我国农村污水处理面临的不易聚集处理的问题，这种单体新型污水处理设备对我国农村污水处理有着较大的实用潜力。
吉林建筑科技学院
2025-05-19
离体培养条件下纤维亚麻多倍体诱导方法
本发明公开了一种离体培养条件下纤维亚麻多倍体诱导方法,该方法按照下列步骤进行:选取健康饱满的纤维亚麻种子,消毒后培养成苗,秋水仙素处理茎尖诱导多倍体,转入茎尖伸长培养基进行培养,然后进行茎尖染色体倍性鉴定,将确定为四倍体植株的茎段放入愈伤组织及芽诱导培养基中进行培养获得大量的四倍体无菌苗,再转入伸长生长培养基进行生长,在生根培养基生根培养后,移入灭菌后的基质中管理即可,最后进行根尖的染色体倍性鉴定.本方法可获得比处理纤维亚麻的种子更高的诱导率,诱导率高达25.5%;纯合四倍体比率高,多倍体植株形态正常,移栽成活率高;可以在离体条件下进行快速繁殖,短时间内得到大量的四倍体组培苗.
黑龙江八一农垦大学
2021-05-04
面向高性能人机交互的脑-机-体复合神经感知与反馈的系统解决方案
天津大学神经工程团队针对人机交互面临的神经系统层面交互信息复杂共性挑战，历时十余年，发明了一套面向高性能人机交互的脑-机-体复合神经感知与反馈的系统解决
天津大学
2021-04-14
瓶体翻转机构
本实用新型公开了一种瓶体翻转机构，包括：转盘机构，其具有可旋转的转盘，该转盘外周开有多个齿，各齿之间的空间用于容置瓶体；传送带，其设置在转盘一侧，瓶体通过该传送带输入转盘中；螺旋分瓶器，其为螺杆结构，其设置在传送带上并可轴向旋转，用以将传送带上的待进入转盘机构的瓶体之间的间距进行调整，以实现瓶体均匀进行转盘机构的齿形凹槽中；通过传送带输送的多个瓶体在进入转盘机构的转盘前通过螺旋分瓶器进行间距调整，从而分别对应进入转盘各齿形凹槽中，经转盘旋转带动从另一侧的出口输出即可实现瓶体翻转。本实用新型的机构能够
华中科技大学
2021-04-14
磁性拓扑绝缘体
课题组使用一种名为角分辨光电子能谱的强大表面物理实验工具研究了反铁磁拓扑绝缘体MnBi2Te4。理论预测和此前的实验表明，这种最近合成的材料是第一个理想的反铁磁拓扑绝缘体，其天然解理面应该是绝缘的。但是，课题组通过研究数据表明，它的表面能带形成了一个完整的X形——这证明该表面以不寻常的，拓扑保护的方式导电。这个数据推翻了此前的实验结论，使磁性拓扑体系的研究迈入一个新的阶段。课题组指出，这种奇异的行为可能是由于表面磁性或结构重构引起的。文中的第一性原
南方科技大学
2021-04-14
组合几何体模型
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23