浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。

根据岩巷围岩特性，采用分类布孔原则，提出了中深孔不同深双阶掏槽全断面一次爆破新技术，系统地研究了岩巷掘进矸石运输系统，通过对岩巷钻爆法掘进主要工序时间进行测试分析，合理配置施工机具和优化施工工艺，提出了适用于岩巷快速掘进的施工工艺流程与劳动组织管理方式，实现了爆破、支护、出矸等施工工艺与劳动组织的有机结合，通过集成、创新，形成了岩巷快速掘进综合 配套技术。 （1）技术先进：全断面一次起爆，炮眼利用率达 95%以上。 （2）施工简单：矸石运输系统采用皮带运输与矸石仓和梭车相结合的方式，实现了出矸的连续作业，提高了装运岩能力。 主要技术; （ 1）根据岩巷围岩特性，经理论分析和试验研究，提出中深孔不同深双阶掏槽全断面一次爆破技术。掏槽眼采用大直径炮眼、大直径药卷、不同深双阶掏槽技术；周边眼采用小直径炮眼，小直径药卷，光面爆破技术。研究表明：采用分类布孔原则，缩短钻眼时间，提高掘进速度，钻眼时间随炮眼深度增加明显降低，对普通凿岩机，炮眼深度宜采用 2.0-2.4m。 （2）根据巷道具体情况，系统地研究了岩巷掘进矸石运输系统。采用皮带运输与矸石仓和梭车相结合的方式，实现了出矸的连续作业，提高了装运矸石的能力，大大缩短了循环出矸时间，为合理安排施工工序与实现正规循环作业创造有利条件。 （3）通过对岩巷钻爆法掘进主要工序时间进行测试分析，合理配置施工机具和优化了施工工艺，提出适用岩巷快速掘进的施工工艺流程与劳动组织管理方式。采取单班正规循环作业，每小班 1 循环，每日 3 循环，一次成巷。实现了部分工序平行作业，大幅度提高工作效率。 （4）该技术现场应用表明，爆破炮眼利用率达到 95%，钻眼时间缩短 25%～30%，出矸效率提高 50%，大断面岩巷掘进月平均进尺 120m，月最高进尺 165m，实现安全高效快速掘进，取得了显著的社会效益和经济效益。

针对哺乳类动物细胞培养特点，本装置专门设计配置了无损伤的气体供应与气体分布系 统，无泡及微泡通气装置，可解决各种培养条件下气泡对细胞的伤害；低剪切力搅拌系统，良 好的混合效果，可满足悬浮和微载体贴壁细胞培养。根据细胞培养要求可以配置各种形式搅拌 桨 (三叶 大倾角桨式搅拌桨、二叶大倾角桨式搅拌桨、三宽叶螺旋桨式搅拌桨等) ；在线清洗 (可选) 和全自动在线灭菌 (可选) ，全自动在线灭菌过程具有空罐灭菌、间接实罐灭菌、直接实 罐灭菌模式，以满足不同工艺使用要求；四气控制系统，表面通气和深层通气相结合，采用 空气、氧气、氮气和二氧化碳进行联动控制，可实现pH和DO的自动控制；精确补料、换液系 统，以满足连续培养的需要；在线细胞显微观察仪，可在线观察分析细胞的生长状态；在线活 细胞浓度传感器，可在线检测活细胞浓度；在线尾气检测，可在线测检排气氧、二氧化碳。结 合其它参数和检测更深把握细胞培养过程的代谢流分析与控制。

项目成果/简介:针对养殖鱼虾主要流行性疾病的病原，解决病原检测与疾病诊断的关键技术问题，研制出病原的单克隆抗体，应用胶体金免疫层析技术，设计研制出对虾白斑症病毒（WSSV）胶体金检测试纸、WSSV半定量快速检测试纸、鱼类淋巴囊肿病毒（LCDV）胶体金试纸条、牙鲆弹状病毒（HIRRV）胶体金试纸条、鱼类病原性弧菌快速检测试纸等。检测仅需3~5分钟，不需要专业仪器设备专业人员操作，在现场即可进行检测，结果肉眼可见，用于鱼虾主要病原的现场、多病原/多样品、快速、准确检测诊断。实现水产动物病原的现场、快速、简便、准确、灵敏的检测。系列检测试纸条通过优化制备工艺、质控体系，在实验室内生产，应用于养殖生产过程中病原的实时检测及早期诊断、进口鱼虾的检疫，满足海水养殖动物疾病监控预警需求，指导疾病准确防治，能够有效预防养殖过程疾病的发生、传播和流行，降低养殖风险。项目阶段:实验室研发阶段效益分析:该成果可应用于水产养殖业疾病检测诊断。研发的海水养殖鱼虾主要疾病的快速、简便、准确、灵敏的检测试剂盒，可应用于养殖生产过程中病原的实时检测及早期诊断、进口鱼虾的检疫，以快速现场检测诊断为核心的海水鱼虾类疾病预警预报技术，能够有效预防了养殖过程疾病的发生、传播和流行，降低养殖风险，是绿色可持续海水养殖健康发展的有力保障，具有较好社会、经济与生态环境效益，应用前景广阔。知识产权类型:发明专利 、 软件著作权知识产权编号:ZL200410075530.9 ZL200510042127.0 ZL200410075528.1 ZL200610045594.3 ZL201310472419.2 ZL201710144784.9技术成熟度:通过中试技术先进程度:达到国内领先水平成果获得方式:独立研究获得政府支持情况:无

针对养殖鱼虾主要流行性疾病的病原，解决病原检测与疾病诊断的关键技术问题，研制出病原的单克隆抗体，应用胶体金免疫层析技术，设计研制出对虾白斑症病毒（WSSV）胶体金检测试纸、WSSV半定量快速检测试纸、鱼类淋巴囊肿病毒（LCDV）胶体金试纸条、牙鲆弹状病毒（HIRRV）胶体金试纸条、鱼类病原性弧菌快速检测试纸等。检测仅需3~5分钟，不需要专业仪器设备专业人员操作，在现场即可进行检测，结果肉眼可见，用于鱼虾主要病原的现场、多病原/多样品、快速、准确检测诊断。实现水产动物病原的现场、快速、简便、准确、灵敏的检测。 系列检测试纸条通过优化制备工艺、质控体系，在实验室内生产，应用于养殖生产过程中病原的实时检测及早期诊断、进口鱼虾的检疫，满足海水养殖动物疾病监控预警需求，指导疾病准确防治，能够有效预防养殖过程疾病的发生、传播和流行，降低养殖风险。

国内外首次利用动物源纤维素分解菌发酵秸秆和鸡粪，秸秆经 发酵后，能够使 CP 含量提高 318.92%，NDF、ADF 和 CF 含量分别下降 20.89%、 29.94%和 49.07%，各种氨基酸含量提高 100-200%；能够使骨粉、CaHPO4 和 Ca3(PO4)2 溶磷效果分别提高 701.75%、586.03%和 680.73%，使动物体内磷的表青岛农业大学科技成果介绍 2017 －59－ 观消化率提高 13.15%。利用该菌株发酵鸡粪，能够使鸡粪中氮、无机磷、有机 质含量分别提高 12.13%、74.7%、15.6%，CF 降低 39.15%，氨气降低 55.12%， 鸡粪大肠杆菌值为 0.05g，寄生虫卵死亡率为 96%；臭度达到 M2 级，符合 NY/T1168 畜禽粪便无害化处理技术规范。该成果达到国际先进水平，并已申请国家专利 （200810086018.2）。 生产条件及经济效益预测：项目适于微生态制剂生产企业，在已有产品和 加工设施的基础上，通过引进发酵菌种和发酵工艺便可以快速生产出发酵制剂 并投放市场，即可获得高额利润。发酵秸秆工艺简单，既适合于规模生产又可 以分散加工，便于广大农村和企业推广应用。采用本项技术可有效利用秸杆资 源，改善环境，防止污染，缓解蛋白资源短缺，达到节约饲料的效果。另外， 该发酵菌还能够使鸡粪中的氮、无机磷、有机质的含量提高，粗纤维和氨气浓 度降低，为鸡粪资源的合理利用和减少环境污染提供有效的解决途径。该项目 属于一个投资少见效快的项目。 

已有样品/n可食性动物组织中红霉素残留检测方法。　　成果简介：本成果能检测分析动物组织中红霉素残留，采用高效液相色谱（HPLC）柱前衍生化反应检测，具体涉及以9-芴代甲氧苯酰氯为衍生试剂的含羟基的红霉素药物的柱前衍生化方法，该方法灵敏、可靠、快速。本成果适用于牛、羊、猪、禽的肌肉、肝脏、肾脏、脂肪和牛奶、鸡蛋等动物性食品中红霉素残留检测。　　应用前景：本成果是一种先进适用性强的检测技术，其推广应用前景十分广阔。该技术具有检测的范围广、检测成本、低操作简单、耗时较短、重复性好、回收率高、灵敏度高的优势

1 成果简介荧光与核素在体小动物成像系统是在国家 863 计划的支持下研制的世界首台小动物在体（活体）分子成像系统。该系统具有同时实现荧光断层成像与正电子发射断层成像(PET)的双模式信息融合分子影像检测功能，可以以 3D 方式显示活动物体内任何位置的特定细胞和分子事件。在该系统中，发展了旋转扫描式动物在体全景成像检测技术和断层扫描三维重建技术，有效解决了伽玛光子信息采集与荧光图像获取相互干扰的难题，同时提高了荧光的检测深度；通过研发的光子漫射理论逆向算法，提高在体检测的空间分辨率和空间定位精度，结合 PET 深层透视的优点，可以 3D 方式显示活动物体内任何位置的特定细胞和分子事件。目前拥有 12 项专利。 该平台采用荧光和核素双模标记的检测方法和技术，研究者可以在一次实验活动中同时获取荧光、 PET 及双模融合的多种数据，并进行分析，从而可以更好更为全面地理解疾病产生的机理，研究药物的作用机制，也可以分析疾病耐药的发生过程，以及药效的持续时间等。研究人员能够使用该系统实时监测活体动物内部器官、组织与细胞、基因蛋白分子等不同层面的动态变化信息，开展在体水平的生命科学与医学科研和应用研究工作。例如，研究肿瘤和癌细胞在体生长、分化、凋亡、转移、扩善，药物在细胞、组织、器官层面的输送、扩散、代谢与定点释放，药物作用下体内肿瘤或癌细胞的生长、凋亡变化，以及与各种疾病相关的分子、细胞、组织的动态变化情况。 （ 1） 肿瘤小鼠荧光图像 （ 2）荧光与 PET 断层图像 上图 荧光与 PET 双模成像 系统特点：荧光与 PET 同时双模成像；动物在体 360゜全景无遮挡扫描成像；支持常规荧光或 PET 成像，也可以采集双模数据；荧光活体成像超越常规的浅表成像，支持 FMT 及小动物深度组织的成像。2 应用说明应用领域：药物研发和筛选；病理机理与病毒研究；新一代分子影像药物研发；药物代谢过程， 基因治疗效果及药效评价。

简单介绍： 小动物代谢检测分析系统可实时同步监测动物的食物消耗，饮水消耗，活动量，活动轨迹图，站立行为，并把所得的数据自动储存到计算机内，方便用户进行生物学统计分析，独立设计的代谢笼可将动物排泄的粪便和尿液自动分离和收集，收集的排泄物进行低温保持，小动物代谢检测分析系统可有效防止排泄物的水分挥发，低温保持温度可以用户自定设置，温度显示精度达0.1度。独立设计的代谢笼采用分体式结构，每个部件采用卡扣式设计，材质为透明的食品级PMP，耐腐蚀，外形美观，表面光滑不易沾粘，用户拆卸方便，清理方便，食槽和水瓶整体固定在重量传感器上，食槽与水瓶不晃动，确保实验时的数据准确性，比传统的代谢笼更加精准。尿液与粪便盒采用卡扣设计，用户取放方便。 详情介绍： 产品特点：1.主机采用铝合金材质，可支持至少9999个代谢笼同时分析2、随时随地查看设备状态和数据：设备可长时间工作，用户无需长期看守，可在办公室实验数据提取，动物任务分配等工作。3.独立大小鼠代谢笼采用独特的漏斗和锥形体设计保证了粪便和尿液的分离收集，尿液不会被污染，也不会进入粪便收集管，所以分离是直接和完全的，结果将得到无误和值得信任的样品；4.进食室位于笼外，防止动物夹嵌或者在其中休息；5.可实时同步监测动物的食物消耗，饮水消耗，活动量，站立行为并提供曲线图、XY活动轨迹图。6.收集漏斗和分离锥形体使用独特的设计和不吸附的PMP材料(完全不同于传统的玻璃、不锈钢或普通塑料，不挂壁，无吸附)确保直接，完全地分离粪便和尿液；7.尿液和粪便收集管均为PMP材质，可在实验进行中随时更换；8.活动量采用热源传感器和红外线结合，精度更高9.收集的排泄物进行低温保持，可有效防止排泄物的水分挥发，低温保持温度可以用户自定设置，温度显示精度达0.1°C。10.独立设计的代谢笼采用分体式结构，每个部件采用卡扣式设计用户拆卸方便，清理方便技术参数：   1、代谢笼外形尺寸：290*290*560mm2、活动区域尺寸：200X200X150mm3、代谢笼材质：食品级PMP4、代谢笼支架材质：304不锈钢5、水瓶容积：250ml6、食槽容积：100克7、尿粪收集槽容积：100ml8、活动量检测方式：XY红外热感传感器（8X8）9、站立检测方式：5mm红外对管8对,高度调节范围0~160mm10、重量传感器量程：1000克11、食物检测分辨率：0.01克12、饮水消耗量分辨率：0.01ml13、低温保持温度设置范围：-2~45°C14、低温保持仪显示分辨率：0.1°C15、主机上限支持通道数：9999通道及以上16、设备软件免维护：由于软件设置在云计算机，用户无需烦恼软件升级以及故障带来的烦恼。 17、设备硬件免连线：设备采用可自动组网连接，免除用户连接线路的烦恼，开机即用。18、软件运行平台：台式电脑，笔记本，平板，手机等设备操作，支持局域网和校园网，标配服务器。19、软件提供数据：食物消耗，饮水消耗，活动量，活动轨迹图，站立行为，并导出到excel20、图表有：食物消耗波形图，饮水消耗饮水消耗，活动量直方图，活动量轨迹图,并导出保存JPG