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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
微生物转化生产洛伐他汀中间体 R-J6 的关键技术
他汀类药物(statins)是一类羟甲基戊二酰辅酶 A (HMG-CoA)还原酶选择性抑制剂，能够降低血浆胆固醇和脂蛋白水平，是防治冠心病、脑中风、高血脂、动脉粥样硬化的首选用药。目前，工业化生产他汀类药物侧链关键中间体主要途径为化学合成法，此法反应步聚复杂，条件不易控制，所需手性试剂价格昂贵，污染严重，收率低。而酶法催化生产他汀类药物侧链关键中间体具有工艺简单、周期短、耗能低、专一性强、收率高、提取方便等优点，因而受到越来越多的关注。采用酶法合成瑞舒伐他汀钙侧链关键中间体，体现降耗环保的时代需求；采用非水相体系进行酶催化反应，解决了底物难溶的瓶颈问题。
江南大学
2021-04-11
一种基于单分子器件平台的单分子电学检测新方法和新技术
利用硅基单分子器件研究了分子马达水解的动力学过程，发现了无标记的电学检测方法观察到的分子马达的转动速度要比荧光标记的方法快一个数量级（ACS Nano 2018, 11, 12789）以苯环为骨架、芴基为核心的共轭分子，并在末端修饰上氨基，通过稳定的酰胺键将带有羰基官能团的功能分子连接在石墨烯电极之间，通过使用自主搭建的高速电学测试平台对化学反应进行了实时监测。大的共轭结构以及酰胺共价键的强耦合保证了分子具有良好的导电性；在化学反应进行的过程中，分子结构的变化将导致分子轨道发生改变，从而影响导电通道，影响器件的电导特性。
北京大学
2021-04-11
【第57届高博会系列报道之十一】“科创中国”西咸新区新能源及智能网联汽车产学融合会议在西安召开
大会以“多体协同 产学融合 绿色发展”为主题，旨在推进新时代新能源及智能网联汽车产业高质量发展，提升产业核心竞争力，助力实现“双碳”目标，共同推动秦创原建设由“势”转“能”。
中国高等教育学会
2022-08-10
电子科技大学计算机学院李洪伟教授团队在云—端协同的安全智能云系统方面取得研究进展
在国家自然科学基金项目的资助下，电子科技大学计算机学院李洪伟教授带领团队在云—端协同的安全智能云系统方面取得研究进展，针对终端环境不可信、联邦学习难验证、存储数据不可靠以及加密数据难检索等难题，提出了非可信环境下面向云终端的智能评估与认证、云—端协同的可验证联邦学习、密态数据的完整性智能验证和海量密态数据的高效检索等核心技术，形成了自主可控的安全智能云系列产品。
电子科技大学
2022-06-15
安徽大学信息材料与智能感知安徽省实验室龙明生教授、单磊教授在《Advanced Functional Materials》上发表新成果
日盲紫外(SBUV)探测器是地球上工作在SBUV光谱范围（200-280nm）的光电探测器在没有背景辐射的情况下具有高信噪比，在导弹羽流跟踪、火焰探测、导弹预警和安全光通信方面具有重要运用价值。
安徽大学
2022-08-26
浙江省科学技术厅关于公开 征求《关于建设高标准中国浙江网上技术市场 加快构建市场化科技成果转化机制的意见（征求意见稿）》意见的通知
为深入贯彻党的二十大精神，充分发挥科技成果需求侧的激励导向作用，推动科技成果价值早发现、早实现，提高科技成果转化和产业化水平，我厅研究起草了《关于建设高标准中国浙江网上技术市场 加快构建市场化科技成果转化机制的意见（征求意见稿）》，现公开征求意见，如有修改意见建议，请于8月23日前反馈我厅。
浙江省科学技术厅
2023-08-14
安徽大学电子信息工程学院和信息材料与智能感知安徽省实验室科研团队取得多项科研成果
近日，我校电子信息工程学院和信息材料与智能感知安徽省实验室科研团队在各自研究领域取得多项科研成果。
安徽大学
2022-06-01
关于进一步加快省属高校院所专业化技术转移机构建设的通知
省属高校、院所专业化技术转移机构建设是山东科技大市场建设的重要组成部分。为贯彻落实《中华人民共和国促进科技成果转化法》《国家技术转移体系建设方案》等有关要求，全面提升高校、院所科技成果转移转化能力，现将进一步加快省属高校、院所专业化技术转移机构建设有关事项通知。
山东省科学技术厅
2022-10-26
浙江省科学技术厅关于 组织开展省级企业研发机构评价工作的通知
按照我厅工作部署，根据《浙江省高新技术企业研究开发中心建设与管理办法》《浙江省企业研究院建设与管理办法》《浙江省重点企业研究院建设与管理办法》（以下简称《管理办法》），经研究，决定对省级企业研发机构（以下简称“研发机构”）开展2022年度集中评价工作。现将有关事项通知如下。
浙江省科学技术厅
2023-07-17