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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学 2021-04-14
ECE R118圆箔式热流计/辐射计
产品详细介绍ECE R118圆箔式热流计/辐射计用于ECE R118机动车辆特定类型内部结构采用的材料燃烧特性中附录7熔融特性,量程10W/cm2,表面10mm接收黑色涂层接收面,整个传感器的直径是25mm,材料为无氧铜,不带光谱过滤窗口,校正精度±3%,重复性0.5%。ECE R118用圆箔式热流计/辐射计的特点:     便携式设计,体积小且重量轻     本机可以记录数据     USB连接计算机     传感器坚固耐用     充电电池或者电源适配器供电ECE R118用圆箔式热流计/辐射计参数:量程:                         0-100(kW/m2)接收视角:                   180度采集频率:                   1次/秒测试类型:                   总热通量时间常数:                   小于1s冷却方式:                   水冷准确度:                      量程最大值的±3%固定方式:                   法兰线长:                         1.5m(可选)主机尺寸:                  90 x 30 x 190   mm(长 x 宽 x 高)传感器尺寸:               25(直径)x25(长)mm;法兰直径43.9mm配置:主机1台,传感器2支,U盘1个,USB连接线1条,电源适配器1个可选:第三方校正报告
上海图新电子有限公司 2021-08-23
船舶制造精密测量系统
船舶制造精度控制是造船工业的关键技术,对提高船舶质量,降低生产成本发挥着重要作用。日韩等世界造船强国已形成一套完整的管理体制,拥有完善的工艺制造流程,先进的高精度测量仪器和三维坐标测量与实物分析软件系统得到了广泛应用。我国的精度控制软件系统起步较晚,没有较为完善的产品,高精度全站仪的性能得不到充分发挥。引进的国外相关软件不但价格昂贵,而且功能存在不符合国内生产习惯的现象。本项目旨在研制船舶制造精密测量系统,结合高精度全站仪提升我国船舶制造精度控制水平。针对高技术、高附加值的船舶制造具有尺寸大、精度要求高的特点,研制船舶制造精密测量系统及精度控制解决方案。主要研究内容包括以下三个部分:(1) 针对船舶分段不规则摆放、构件外型复杂、尺寸大、内侧构件不易测量等实际情况,建立适用于测量大型船舶分段和构件的数学模型;(2) 通过嵌入式精密测量系统与高精度全站仪的集成应用,实现船舶分段和构件三维坐标数据的采集,为船舶制造提供船舶的三维计算与分析结果;(3) 建立船舶制造数据库、误差分析模型和精度控制方案,存储设计数据、实测数据和分析结果等,对船舶制造过程中加工、切割、装配和焊接等环节进行误差统计分析和精度控制,为设计和工艺方法的改进、精度指标的确定提供数据和理论基础。
南京工业大学 2021-04-13
高功率激光焊接制造
上海交通大学 2021-04-13
船舶制造精密测量系统
本项目旨在研制船舶制造精密测量系统,结合高精度全站仪提升我国船舶制造精度控制水平,主要研究内容包括以下三个部分: (1) 针对船舶分段不规则摆放、构件外型复杂、尺寸大、内侧构件不易测量等实际情况,建立适用于测量大型船舶分段和构件的数学模型; (2) 通过嵌入式精密测量系统与高精度全站仪的集成应用,实现船舶分段和构件三维坐标数据的采集,为船舶制造提供船舶的三维计算与分析结果; (3) 建立船舶制造数据库、误差分析模型和精度控制方案,存储设计数据、实测数据和分
南京工业大学 2021-04-14
各种工装夹具设计制造
各种工装夹具设计制造
上海理工大学 2021-01-12
人才需求:智能制造
技术人才:智能制造、氢能源相关专业,研究生及以上学历,10年以上研发经验,能够指导产品研发。
山东奥扬新能源科技股份有限公司 2021-09-13
多功能柔性制造单元
基于齿面柔性创成原理及多功能复合加工技术,建立参数化模型,研究其数字化共轭原理及刀路规划算法,开发具有自主知识产权的制齿软件。软件可按制齿功能进行重构,集成数控倒棱机等辅助装备,形成成套多功能制齿装备单元。
南京工业大学 2021-01-12
一种铂铜凹形合金纳米晶的制备方法及其制备的铂铜凹形合金纳米晶
本发明公开了一种铂铜凹形合金纳米晶的制备方法。将油溶性的铂源和铜源溶于油胺中得第一溶液;将十六烷基三甲基溴化铵和三正辛基氧膦溶解于油胺中得第二溶液;将第二溶液搅拌的同时加热至160-200℃,用移液枪将第一溶液注入上述第二溶液中,160-200℃下反应2-24小时;将得到的产物离心分离,即得铂铜凹形合金纳米晶。本发明所用试剂较为简单,无毒无害,制备方法简单,较易实现,具有较重要的学术和现实意义。本发明还公开了所述制备方法制备的铂铜凹形合金纳米晶,大小均一,分散性好,成分可调。
浙江大学 2021-04-11
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺,属于微机电系统的封装方法,解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小,容易损坏,以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括:淀积吸气剂步骤;淀积薄牺牲层步骤;淀积缓冲腔牺牲层步骤;淀积厚牺牲层步骤;制作封装盖步骤;刻蚀释放孔步骤;去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短,密封质量低,封装尺寸大,工艺与标准 IC 工艺不兼容,成本高的问题,从而保证最里面的腔体气压;同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学 2021-04-14
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