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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
一种基于替代模型空间映射技术的成品带通滤波器调试技术
微波滤波器是无线通信基站和卫星通信系统的关键器件，被广泛应用于卫星系统和无线通信系统的射频前端。在实际生产设计中，种种误差导致设计的滤波器很难实现设计指标。成品微波/毫米波器件的后期调试在实际应用中占据着举足轻重的地位。传统的人工成品调试工作由专业的调试技术工人完成，这种方式不仅耗时长，且对技术工人的调试经验有很高的要求，人工成本高。 一种基于替代模型空间映射技术的成品带通滤波器调试
南方科技大学
2021-04-14
关于召开“四新”背景下的一流创新创业学院建设论坛的通知
为贯彻落实《关于进一步支持大学生创新创业的指导意见》，助力提高人才培养质量，提升大学生就业能力，更好地服务经济社会发展，经研究，中国高等教育学会决定举办“四新”背景下的一流创新创业学院建设论坛。
中国高等教育学会
2022-07-19
广东省科学技术厅关于印发《广东省基础与应用基础研究基金项目科研不端行为调查处理实施细则（试行）》的通知
为规范广东省基础与应用基础研究基金（以下简称省基金）项目科研不端行为的调查处理，维护省基金的公正性、公信力和科技工作者的权益，推动科研诚信、学术规范和科技伦理建设，促进省基金事业的健康发展。
广东省科学技术厅
2023-03-20
陕西省科学技术厅关于拟提名2026年度省科学技术奖有关项目的公示
陕西省科技厅发布2026年度省科学技术奖拟提名项目公示，公示期9月10日至14日，含省科技厅拟提名项目、专家拟提名项目等3个附件。
陕西省科学技术厅
2026-09-10
宁波市聚力精准引才破解高端模具“卡脖子”问题
以数字化建模仿真技术为核心竞争力的清华大学郭志鹏博士创业团队，正式入驻宁波高端模具工程技术中心模具软件研发中心，他们带来了填补国内模流分析空白的软件，旨在为北仑模具产业软件设计打破国外的技术壁垒。
宁波市科技局
2021-04-20
一种提高喷膜主液稳定性的喷膜防水材料
成果描述：本发明公开了一种提高喷膜主液稳定性的喷膜防水材料，按重量份包括以下组分：由主液和丙烯酸盐组成,其重量组分为:主液+丙烯酸钙液体+丙烯酸锌固体,各组分的配比为:100份主液+5-20份30%丙烯酸钙液体+0.8-2.0份丙烯酸锌水溶液。本发明能够有效解决喷膜主液自聚及团聚，以提高喷膜主液稳定性，确保喷膜施工的顺利进行，稳定喷膜防水材料力学性能。市场前景分析：轨道交通基础设施建设领域。与同类成果相比的优势分析：技术先进，性价比较高。
西南交通大学
2021-04-10
一种利用外源脯氨酸提高早熟禾抗盐性的方法
采用脯氨酸进行叶面喷施；在早熟禾苗期喷施，每天喷施2-4次；喷施量为叶片湿润而不滴水为标准。
辽宁大学
2021-04-11
廿二碳五烯酸乙醇胺在提高植物灰霉病抗性中的应用
本发明公开了廿二碳五烯酸乙醇胺在提高植物灰霉病抗性中的应用以及在制备提高植物灰霉病抗性的制剂中的应用。本发明以廿二碳五烯酸乙醇胺为主要有效成分制备的制剂，通过诱导植物体内的茉莉酸以及乙烯的信号路径，可显著增强植物对灰霉病的抗性，减少因灰霉病给植株带来的经济损失。采用本发明制剂防治植物灰霉病简单易行，成本较低，可显著延迟和抑制灰葡萄孢病原菌在叶片上的生长及病害的扩散，大大提高了植株对灰霉病的抗性。
浙江大学
2021-04-13
提高油菜波里马胞质雄性不育系制种产量和纯度的方法
研发阶段/n本发明属于利用油菜细胞质雄性不育系生产杂交F1种子的技术领域，具体涉及到利用一类不稳定型波里马细胞质雄性不育系在冬油菜产区（长江流域）秋播生产杂交F1种子的杂交制种方法。该技术的目的在于克服已有技术的不足，提供一种制种方法简单但又能提高制种产量和杂种纯度的杂交制种方法。技术水平：专利技术（国家发明专利授权号：ZL01114273.1）应用前景：该技术的发明使得过去认为没有利用价值的不稳定型波里马细胞质雄性不育系应用于油菜杂交种的生产，并提高了油菜种质资源的有效利用；用不稳定型波里马细胞质
华中农业大学
2021-01-12