哈尔滨工业大学（深圳）电子与信息工程学院的徐科副教授、姚勇教授与其合作者，针对光通信芯片集成度受限的问题，通过光波导模场的精细调控，在实现多模波导低损耗和低串扰的同时，将关键器件的尺寸缩小了1-2个数量级。芯片支持3×112 Gbit/s高速模分复用信号的任意紧凑布线，使多模光学系统的大规模片上集成成为可能。该成果将进一步助力集成光子芯片在光通信、人工智能、高性能计算、量子信息等众多高新领域中加速发展和应用。

本发明公开了一种多顶针芯片剥离装置，包括多顶针主体机构， 安装于 Z 向升降机构上并连接旋转驱动机构，其包括中心顶针和外圈 顶针，外圈顶针先接触蓝膜上芯片的外缘实现预顶松，然后中心顶针 上升至外圈顶针等高并协作顶起芯片，完成芯片剥离；旋转驱动机构， 连接多顶针主体机构，用于先后驱动外圈顶针和中心顶针上升以完成 芯片顶起动作；Z 向升降机构，安装于三自由度微调对准机构上，停 机状态时其处于下降位置，工作状态其处于抬升位置，为顶起芯片做 好准备；三自由度微调对准机构，用于对多顶针主体机构进行 X、Y 和 Z 向的微调。本发明可实现顶针的快捷更换以及各顶针高度的方便 调节，芯片受力均匀，有效减少剥离过程中的芯片失效。 

本发明公开了一种超薄芯片的制备方法，具体为：首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域，再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄，对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片，最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片，所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺，相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法，简化了工艺流程，降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄，所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小，通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。

成果与项目的背景及主要用途： RFID是射频识别技术的英文(Radio FrequencyIdentification)的缩写，射频识别技术是 20 世纪 90 年代开始兴起的一种自动识别技术，射频识别技术是一项利用射频信号通过空间耦合(交变磁场或电磁场)实现无接触信息传递并通过所传递的信息达到识别目的的技术。RFID 系统通过射频信号自动识别目标对象并获取相关数据，识别工作无须人工干预。作为条形码的无线版本，RFID 技术具有条形码所不具备的防水、防磁、耐高温、使用寿命长、读取距离大、标签上数据可以加密、存储数据容量更大、存储信息更改自如等优点，已经被世界公认为本世纪十大重要技术之一，在生产、零售、物流、交通等各个行业等各个行业有着广阔的应用前景。 本项目主要研发了基于 ISO18000-6B 协议的无源电子标签芯片，其可用于物流，货品识别，高速公路收费等诸多领域，是目前国内外射频电路研究领域的热点。 技术原理与工艺流程简介：UHF 频段的无源电子标签工作原理如下：通过标签上外置的偶极子天线接收读卡器发送的载波信号，并将其转换为直流信号，为整个芯片供电；同时片上的解调模块解调出经调制的载波信号所携带的数据信息，并传递给片上的基带部分加以处理；基带部分连同 EEPROM 部分一起完成数据的读写和控制功能，再由调制模块以反向发射的形式将上行信号返回给读卡器完成一次通信。 本设计的工艺流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 数字工艺，从芯片设计、仿真、版图验证。最终通过代工厂完成芯片制作。技术水平及专利与获奖情况：根据测试结构表明，各项指标都达到了商用需求，在国内属领先水平。该项成果已获得国家知识产权局颁发的集成电路布图登记证书。BS.06500285.7 应用前景分析及效益预测：目前国内的 UHF 频段的 RFID 产品正处于高速成长期，需求量快速增长，但大多数核心技术需要依赖进口。如果本项目能够实现技术转产，可以预计的前景和经济效益是相当可观的。有了自主知识产权的 UHF频段电子标签，在很多领域都可以加以移植，取代进口产品不但可以大大节省开支，同时也可以实现产品的自我定制及更新，最大程度的方便了国内用户的应用。 应用领域：货品跟踪和识别（代替条形码）、高速移动物体的识别、防伪认证以及电子支付等领域都会有广泛的应用。 技术转化条件（包括：原料、设备、厂房面积的要求及投资规模）：四十平方米以上的办公用房，电脑、工作站若干，相应软件。也可以和 RFID天线制造单位，卡片封装单位共同合作，将成果转产。 合作方式及条件：面谈。

上一篇文章我们详细介绍了建设无尘车间的第一步——选址，选好适配的场地只是洁净厂房建设的开端，真正决定车间后期使用效率、合规性与安全性的核心环节，是紧随其后的平面布局规划。很多企业在无尘车间建设中存在一个误区：认为找好场地后，便可直接敲定材料、采购设备进行安装，殊不知，缺乏科学合理的平面布局规划，后期不仅会出现生产动线混乱、交叉污染、洁净度不达标等问题，还可能导致返工整改，浪费大量的时间与成本，甚至无法通过行业监管验收，影响企业正常投产。因此，无尘车间建设必须重视平面布局规划，而这一环节的核心的是把握三大关键要素：贴合生产流程、符合洁净室设计规范、遵守消防安全规定，三者缺一不可。作为深耕洁净室工程领域多年的标杆企业，华建净凭借完善的全生命周期服务体系、丰富的行业案例与专业的技术实力，为无数企业提供了科学合规、高效适配的平面布局规划方案，助力企业规避建设风险，实现洁净生产落地。 平面布局规划是无尘车间设计的基石，直接决定了洁净室的使用效果、运行成本与合规性，尤其对于二类医疗器械等强监管行业，布局的合理性更是企业通过GMP认证、保障产品质量的核心前提。华建净深耕洁净室工程行业多年，核心聚焦尘埃处理技术与洁净室全链条解决方案，凭借扎实的技术积累、完善的服务体系，成功跻身国内洁净室工程企业综合排名前列，累计完成数百个不同规模、不同洁净等级的洁净室工程项目，其中在二类医疗器械厂房领域的案例更是遍布全国，凭借99%以上的一次性验收通过率，成为众多医疗器械企业的首选合作伙伴。 一、贴合生产流程，实现高效生产无阻碍 生产流程是平面布局规划的核心导向，不同行业、不同产品的生产流程存在显著差异，而流程的合理性直接影响生产效率与产品合格率。例如二类医疗器械中的无菌器械、体外诊断试剂等产品，生产流程涉及原料处理、组装、灭菌、检验、包装等多个环节，每个环节的先后顺序、操作要求都有严格规范，平面布局需严格遵循“单向流转、避免迂回”的原则，减少物料、在制品的往返搬运，从源头规避交叉污染风险。 需要注意的是，生产流程的具体规范的需由企业生产工程师结合产品特性、产能规划提供，或由设备制造商根据设备运行要求给出专业建议，这也是平面布局规划的前提。而华建净在这一环节的核心优势的的，能够深度对接企业生产团队与设备供应商，组建由10年以上行业经验工程师组成的专业团队，全面梳理生产流程中的核心需求与痛点，将生产工艺要求与洁净室设计完美融合，优化动线设计，确保布局既贴合生产实际，又能最大化提升生产效率。不同于行业内“重设计、轻落地”的传统模式，华建净的规划方案始终兼顾实用性与可操作性，提前预留设备安装、产能扩张的空间，避免后期因生产需求调整而进行大规模改造，帮助企业降低全生命周期成本。 二、遵循洁净室设计规范，筑牢合规生产防线（以二类医疗器械厂房为例） 二类医疗器械直接关系到使用者的生命健康安全，国家对其生产环境的洁净度、流程合规性有着极为严格的监管要求，平面布局规划必须严格遵循《医疗器械生产质量管理规范》（GMP）及相关行业标准，华建净作为具备“洁净室施工A级资质”的企业，核心技术团队对ISO14644国际标准、GB50457《医药工业洁净厂房设计规范》等有着深刻的理解与丰富的落地经验，能够确保布局方案全程合规，助力企业顺利通过GMP认证。具体需重点把握以下几点： 合理划分作业区，规避交叉污染 平面布局需结合生产产品的品种、数量，合理划分不同功能的作业区域，明确区分洁净区与非洁净区、生产区与检验区，避免不同环节的交叉污染。其中，检验室作为产品质量把控的核心环节，必须与生产区域严格分隔，配备独立的洁净设施，确保检验结果的准确性与可靠性。华建净在规划过程中，会根据二类医疗器械的生产特性，采用BIM三维可视化设计，提前模拟区域划分与动线走向，优化管线综合排布，避免管线碰撞，同时严格按照洁净等级梯度布置区域，从高洁净区到低洁净区依次规划，确保洁净环境稳定可控。 严格执行“人货分流”，规范进出流程 “人货分流”是洁净室设计的核心原则之一，目的是避免未经净化的人员、物料带入污染物，保障洁净区的洁净度。华建净结合多年二类医疗器械厂房设计经验，优化设计人员与物料的进出线路，确保动线清晰、互不交叉，具体流程规划如下： A：人员进入线路流程 换鞋→脱外衣→更无尘衣→洗手消毒→缓冲→洁净走廊→各功能间→内包间。华建净在规划时，会根据企业人员规模，合理设计人员净化用房的面积与布局，换鞋区配备无尘鞋存放柜，更衣区采用分区设计，洗手消毒区配备符合GMP要求的消毒设备，缓冲间设置风淋室，确保人员进入洁净区前彻底去除身上的灰尘与污染物，同时优化动线设计，避免人员逆行，从源头保障洁净环境。 B：物料进入线路流程 原料仓库→拆外包→缓冲灭菌→进入生产区。物料是交叉污染的主要来源之一，华建净会为企业设计独立的物料净化用房，拆外包区与洁净区严格分隔，配备专业的灭菌设备，物料经拆包、消毒、灭菌后，通过传递窗或货淋通道进入生产区，传递设施具备联锁和自净功能，确保物料进入洁净区时达到相应的洁净要求。同时，华建净会根据物料特性，优化物料存放与转运路线，减少物料在非洁净区的停留时间，规避污染风险。 C：成品出库线路流程 完成生产→内包装→外包装→成品仓库。华建净在规划时，会设计单向的成品流转路线，内包装区位于洁净区内，外包装区与洁净区分隔，成品经内包装后，通过专用通道转运至外包装区，避免成品与原料、半成品交叉接触，同时成品仓库与生产区合理衔接，确保成品出库高效、便捷，且不影响洁净区环境。 D：仓库区规划要求 原辅料、半成品、成品等物料需根据性质不同，分设库房或分区存放，避免混放导致的交叉污染。其中，清洁剂、消毒剂、杀虫剂、润滑剂、燃料等物料，需与原辅料、半成品、成品严格分隔放置，单独设立存放区域并明确标识。同时，库房内的物料需与墙壁、地面保持适当距离，便于通风、清洁与维护，物料标识清晰，实现全程可追溯。华建净凭借丰富的仓库规划经验，会根据企业物料种类与存储需求，设计恒温恒湿、通风良好的仓库布局，配备专业的存储货架，确保物料存放合规、安全。 F：缓冲间设置要求 不同净化级别的洁净室之间，必须设置缓冲间，通过控制压差梯度（通常≥10Pa），防止高级别洁净室受到低级别洁净室的空气倒灌污染，确保各区域洁净度稳定达标。华建净在规划时，会根据洁净等级差异，合理设计缓冲间的大小与布局，配备相应的压差控制设备，同时采用专业气流模拟软件优化气流组织，确保缓冲间能够有效隔离不同洁净等级区域的空气，避免交叉污染，这也是华建净能够确保洁净室长期稳定达标、一次性通过验收的核心技术优势之一。 三、符合消防安全规定，守住生产安全底线 无尘车间由于采用密封式设计、使用大量保温、防火材料，且部分生产环节可能涉及易燃易爆物料（如二类医疗器械生产中的消毒剂、溶剂等），消防安全尤为重要。平面布局规划必须严格遵循消防安全规定，合理设置安全出口、疏散通道、消防设施，确保疏散通道畅通无阻，消防设施能够正常发挥作用。 华建净在规划过程中，始终将消防安全放在首位，结合无尘车间的结构特点与生产需求，严格按照消防规范设计安全出口与疏散路线，确保每个区域都有足够的安全出口，疏散通道宽度符合标准，同时合理布置灭火器、消防栓、火灾自动报警系统、应急照明等消防设施，确保消防设施覆盖整个车间，且便于操作与维护。此外，华建净还会在布局规划中，优化易燃易爆物料的存放区域，设置防火隔离带，规避火灾风险，为企业生产安全筑牢防线。 华建净：专业规划+全链服务，助力洁净车间高效落地 无尘车间平面布局规划看似简单，实则涉及生产工艺、洁净规范、消防安全、成本控制等多个维度，需要专业的技术团队、丰富的行业经验与完善的服务体系作为支撑。华建净作为国内洁净室工程领域全生命周期服务的先行者，打破了行业内“重建设、轻服务”的传统模式，构建了覆盖前期咨询、规划设计、施工建设、验收到后期运维、升级改造的全链条服务体系，客户只需对接华建净一家服务商，即可完成洁净室项目全流程的建设与运维，彻底避免多供应商对接带来的沟通成本高、责任划分不清晰等问题。 下图为华建净为某二类医疗器械企业设计的洁净厂房平面布局示意图（仅供参考），该方案严格遵循GMP规范与二类医疗器械生产要求，实现了生产流程顺畅、人货分流清晰、洁净等级达标、消防安全合规，助力客户顺利通过GMP认证，投产后生产效率较原有车间提升30%以上，产品良品率显著提高，获得了客户的高度认可。华建净累计完成超过300个10万级及以上洁净车间成功案例，覆盖医疗器械、电子半导体、生物医药等8大行业，客户复购率超80%，凭借严格的“材料-施工-检测”全程溯源系统，近3年合规验收通过率达到100%。 本文仅对无尘车间平面布局规划进行了简单介绍，实际上，净化车间的设计是一项复杂的系统性工程，除了平面布局，还涉及洁净等级确定、通风系统设计、材料选型、设备安装等多个环节，每个环节都直接影响洁净室的使用效果与合规性。 如果您正筹备二类医疗器械或其他行业的无尘车间建设，面临平面布局规划难题，或是想了解更多洁净室设计、施工、运维相关知识，不妨联系华建净——我们拥有专业的设计团队、自有施工团队与完善的售后保障体系，可免费为您提供现场勘测、需求调研、合规解读与规划方案定制服务，凭借丰富的行业经验与专业的技术实力，为您规避建设风险、降低运营成本，助力您实现合规、高效、节能的洁净生产。

本项目将提供一款高品质的非晶 ZnTiSnO 微型半导体气体传感器，为一种具有纳米材料特征的薄膜型气体传感器，用于可燃性气体（特别是乙醇）的检测。该半导体气体传感器具有下述优点：灵敏度高、选择性好、响应快、稳定性好、抗干扰性强、可室温工作、易于微型化、与微电子系统兼容，而且制作工艺简单、组装成本低、价格低廉。 （1）半导体气体传感器件的核心材料为气敏层，即非晶ZnTiSnO 薄膜，该材料质量如何直接决定了器件的性能。通过前期预研究，我们设计并合成了具有表面微纳结构的绒面 a-ZnTiSnO 薄膜，如何进一步优化工艺参数，更加提升 a-ZnTiSnO 薄膜高质量，实现精确可控生长，依然是本项目拟解决的关键技术。 （2）气体传感器的实用性在于器件参数的确立，因而，通过系统研究，建立非晶 ZnTiSnO 气体传感器各气敏性能与气体参数之间的定量关系曲线，特别是室温工作条件下的定量关系，是本项目拟解决的关键技术。 （3）为使气体传感器获得广泛应用，器件良好的稳定性至关重要。通过工艺优化、器件设计和封装保护等措施，实现非晶ZnTiSnO 气体传感器的高稳定性和抗干扰性，使器件具有长的使用寿命，也是本项目拟解决的关键技术。制备出高质量非晶 ZnTiSnO 薄膜，具有均匀且均一的表面微纳结构，绒度大于35%；薄膜与衬底附着力大于 21N。非晶 ZnTiSnO气体传感器性能指标：气敏层尺寸 10~300μm，易于集成化；对可燃性气体有高选择性，其中对乙醇的敏感度最高；室温工作条件下，对 100ppm 乙醇的响应度不低于 30；响应时间小于 1.8s，恢复时间小于 1.5s；稳定性好，有效使用寿命不低于3 年。 理论与实验相结合，揭示出 a-ZnTiSnO 气体传感器室温气敏性能和稳定性机理，建立理论模型，阐明器件的耐候性规律。研制出具有实用价值的高品质 a-ZnTiSnO 半导体气体传感器，建立一套非晶 ZnTiSnO 材料生长和器件制备的完整工艺，关键技术拥有自主知识产权。 应用范围：  纳米氧化铜产品广泛应用于各类抗菌、抗紫外线、空气净化产品中，如抗菌保鲜膜、抗菌塑料、抗菌纤维、抗菌整理液、抗菌陶瓷、抗菌地板、抗菌纺织品、防嗮化妆品、室内甲醛治理等产品中。 纳米CuO应用前景 催化剂：主要用于国防领域，作为复合固体推进剂的重要成分，用来调节推进剂燃耗性能。 传感器：纳米氧化铜对外界环境的温度，光，湿气等十分敏感，并且可以提高传感器的响应速度，灵敏度和选择性。 在超导，陶瓷，电极活性材料等领域作为一种重要的无机材料有广泛的应用。 用作玻璃，瓷器的着色剂，光学玻璃磨光剂，有机合成的催化剂，油类的脱硫剂，氢化剂。 用于制造人造宝石及其它铜氧化物，用于人造丝的制造，以及气体分析和测定有机化合物等。 用于饲料中，提高铜的表观消化率。 用于抗菌剂，纳米氧化铜具有清洁，高效，能耗低，污染小，被广泛用于医药，纺织等领域。 用于粒子助力制冷器节能，提高热传递效率。 降低冷冻机油的粘度。 提高烟气脱硝性能。 应用范围： 橡胶工业中硫化活性剂，石油化工行业催化及添加剂，是汽车轮胎、飞机轮胎、工业电缆行业材料以及氧化锌陶瓷； 涂料油漆、透明橡胶、乳胶和塑料行业用，可增加产品强度和致密性、粘合性、光洁度； 抗菌抑菌和除臭材料、医药卫生用杀菌材料、玻璃陶瓷杀菌自洁材料、医药行业杀菌敷料； 电子工业和仪表工业、制造电器件、无线电、无线荧光灯、图像记录仪、变阻仪、荧光体； 军事工业：红外吸收材料。   五、纳米氧化锌分散液 项目 Item 标准 Standard 氧化锌(W/%) ZnO 4% 外观 Exterior 乳白略显黄色易流动液体 Milky white slightly yellow liquid PH 7.2   分散液氧化锌含量可以根据需要在30%以下定制

运用先进的相干共振X射线弹性散射，研究了经典的电荷密度波材料三碲化锆（ZrTe3 ）中的杂质效应。

本实用新型公开了移动式海洋地震长期实时探测器，包括主控水密装置、定位与通信装置、能量供给装置以及传感探测与信号处理装置。定位与通信装置用于解决海洋地震传感探测器的导航定位和远程通信的问题，实现海洋地震实时探测；能量供给装置采用太阳能和波浪能发电装置结合发电，为海洋地震传感探测器提供长期的能量供给，实现海洋地震长期探测；传感探测与信号处理装置采用光纤激光水听器阵列，并分别在硬件和在软件上进行降噪处理，提高海洋地震传感探测器的灵敏度，实现对震级数小的远程地震波的精确探测。本实用新型具有布放和回收技术要求低、低成本、实时传输数据等优点。

本发明公开了一种水域污染源自动探测装置，包括:本体，以及安装于本体上的控制单元、驱动单元、采样单元和传感单元;传感 单元用于采集方位、水质信息;驱动单元，用于驱动本体以及本体上 搭载的各单元在水域上运送至目标方位;采样单元，用于水质取样; 控制单元用于控制水质传感器采集水质信息的时间间隔、比较分析水 质传感器采集的水质信息、储存方位、水质信息、确定污染源位置、 控制驱动单元的运动、控制采样单元的采样行为。本发明的装置能够 在水域自动巡游、自动定位、无人操作，自动搜寻水域污染源的位置 并带回样本;可到

本发明公开了一种水域污染源自动探测方法，包括:控制器， 以及由所述控制器控制的驱动装置、采样装置、方位传感器、水质传 感器;(1)设定污染物检测阈值 S0;(2)多个水质传感器每隔ΔT 同时采 集一次污染物浓度，取这些数据的最大值 S 与 S0 进行比较，当 S≤S0 时，探测装置继续按照初始方向前进;当 S>S0 时，探测装置向着最大 值S所对应的水质传感器所在的方向前进，直到到达污染源所在区