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一种铌酸锂纳米器件的刻蚀方法
本发明属于光电器件制备技术领域,具体为一种铌酸锂材料的刻蚀方法。本发明方法包括:在铌酸锂表面制备金属钝化层,用来提高纳米图形的保形性以及侧壁刻蚀倾斜角;沉积硬掩膜,并采用微电子光刻技术进行图形化处理;在待刻蚀的铌酸锂区域沉积活性金属薄膜,以提高刻蚀深度;将覆盖有活性金属层的铌酸锂晶体在还原气氛中进行退火;然后采用相应的酸溶液和碱溶液去掉铌酸锂表面的金属及其与铌酸锂的反应物,得到具有一定刻蚀深度的铌酸锂纳米图形。所制备的大规模铌酸锂纳米器件阵列尺寸可控,保形性和重复性好,侧壁倾斜角大于80°,图形凸块表面光滑。铌酸锂纳米器件制备步骤简单,难度低,可降低大规模生产成本。
复旦大学 2021-01-12
电力电子器件封装和状态监测解决方案
围绕该成果共发表或录用论文70余篇,其中SCI收录论文36篇,EI收录期刊论文20篇(一级学报论文17篇),授权发明专利21项 1、针对器件测量,研制了多个测量平台,覆盖器件的静、动态特性测量以及器件的封装绝缘特性测试和器件可靠性及坚固性测试。 2、针对器件电热状态监测的不同应用场景,提出了多个解决方法。包括模块内部电流监测方法、高温模块集成的电流监测方法、器件内并联芯片结温检测方法以及考虑寄生参数的结温监测方法。 3、针对器件封装的关键问题,提出了对应的解决方案。包括:对压接型器件,提出了优化电流均衡的解决方案;对碳化硅器件,提出了瞬态电流均衡的聚类筛选方法;对碳化硅模块,提出了扁平化分裂引出式分组封装方法。 创新点 1、器件测量平台寄生参数优化,各平台具有宽温度范围和高电流等级。其中动态特性测试平台具有国内领先国际先进的高电压范围。绝缘特性测试平台具备热刺激去极化电流测量功能,可表征绝缘材料微观参数。 2、提出模块内非圆形 PCB 罗氏线圈的绕线方法,实现了更准确的模块内部电流测量。研制了 LTCC 材料高温电流传感器,实现了高温模块集成的电流监测。提出时序温敏电参数法,实现了压接器件内每颗芯片结温分布的测量。建立了动态温敏电参数测量和结温在线监测方案,修正了寄生参数的影响,实现了碳化硅器件结温的在线监测。 3、针对压接型功率器件,提出凸台刻槽的方法,均衡凸台寄生参数,在没有牺牲空间利用率的前提下大大降低了电流不均衡性。针对碳化硅器件,提出了转移曲线距离系数的层次聚类分选方法,经筛选过后的器件在并联工作时,有效降低了瞬态电流不均衡度。针对碳化硅器件模块,在传统封装工艺基础上进行封装改进设计,优化 DBC 与芯片布局,改变端子结构,显著降低了模块寄生电感。
华北电力大学 2025-06-27
一种移动云存储轻量级数据安全共享方法
本发明公开了一种移动云存储轻量级数据安全共享方法,方法 包括:数据拥有者在可信第三方注册属性集合,数据拥有者为用户指 定属性集合,可信第三方根据用户的属性集合使用属性密码机制对用 户授权生成属性密钥,数据拥有者使用移动端共享文件时,首先采用 对称密码机制对文件加密,通过代理加密服务器使用属性密钥机制对 对称密钥加密,并将文件密文及密钥密文发送到云端,用户从云端读 取文件密文及密钥密文后,通过代理解密服务器使用属性密码
华中科技大学 2021-04-14
一种分布式存储系统请求的处理方法
本发明公开了一种分布式存储系统请求的处理方法,属于信息 存储技术领域。本发明在以新能源供电为主、市电供电为辅的多副本 分布式存储系统中,动态开启、关闭数据节点以使整个系统动态匹配 新能源的电力供应。添加以 SSD 作为存储介质的 SSD 节点作为系统缓 存区,将对关闭数据节点的不可延迟的及时请求划分为两个阶段:低 能耗的及时在线响应阶段和高能耗的后台离线存储阶段,在线阶段保 证性能需求,离线阶段充分利用新能源。同时,
华中科技大学 2021-04-14
可外包重构的电子医疗记录的秘密共享云存储方法
本发明提供了一种秘密共享云存储方法,其包括:预处理阶段、分发阶段、重构阶段、恢复与验证阶段。预处理阶段由HC‑A对电子医疗记录进行预处理,预处理的结果将被直接用于分发阶段;在分发阶段,HC‑A生成n个份额,分别分发给CP1,K,CPn;在重构阶段,CPre从CP1,K,CPn处得到不少于t个份额,恢复出电子医疗记录预处理之后的结果,并发送给HC‑B;恢复与验证阶段HC‑B恢复出电子医疗记录并验证其正确性。该方法在确保减小用户计算耗费的同时,也能确保存储电子医疗记录的云服务提供商和恢复电子医疗记录的云服务提供商均不能获得该记录。可应用于电子信息等领域,可产生客观的效益。
青岛大学 2021-04-13
安全柜、加仑柜、实验室化学品存储柜
产品详细介绍易燃易爆化学品安全柜 型号:MA3000 规格:(H)112*(W)109*(D)46cm 重量:100kg 容积:30GAL/114L 门类型:双门/手动 可调层板:1 MIANN防火安全柜整体为双层防火钢板构造,两层钢板之间间隔40mm,内填特种防火材料,防火性能更为卓越。采用优质冷轧钢板,增加强度,防火性能更好 柜身底部50mm高的防漏液槽最大可能的防止化学液体的外溢 独有的镀锌层板,防腐蚀,防液漏,最大可承托400ibs的钢制安全罐 柜体内外都喷涂有特久的,无铅的环氧树脂漆,最大程度的增加抗化学品的能力 标有三种语言的高可见度标签,耐腐蚀 两个带有防火装置的通风口,分别位于柜身的两侧 可调节垫片若干确保柜体稳固
无锡铭安安全设备有限公司 2021-08-23
微波毫米波新型基片集成类导波结构及器件
成果介绍基片集成类导波结构是近十几年发展起来的一类新型平面集成高性能导波结构,2011年被国际微波杂志列为“改变未来无源与控制器件的十大非凡发明”之首(Microwave Journal, Nov. 2011)。本项目组是国际上这一领域的主要贡献者之一,在国家自然科学基金委创新群体基金和国家973项目等的资助下,对基片集成类导波结构的传输特性、谐振特性、损耗机理、模式转换机理、极化转换机理等科学问题及其在多个分支的创新应用开展了系统深入的研究,建立了精确有效的设计方法,构建了基础设计公式,提出并命名了半模基片集成波导等新型导波结构,提出了一系列基片集成类无源元件新结构等。技术创新点及参数1、在国际上最早提出并发展了适合于周期性基片集成类导波结构的频域有限差分和直线法全波分析模型,揭示了其传输机理,并在此基础上构建了一组闭式设计公式。这组公式已被广泛用于基片集成类导波结构元器件的设计。相关代表作单篇正面他引均超过150次。2、提出并命名了半模基片集成波导、折叠半模基片集成波导等新型导波结构,系统研究了其导波特性、损耗机理和模式转换机理等,构建了设计公式,并在此基础上发展了一系列新型微波毫米波高性能元器件,其中代表作单篇正面他引均超过100次。3、提出了多种基片集成波导无源新结构,深入研究了其谐振特性、耦合特性和损耗机理,并在此基础上发展了一系列高性能新型元器件及单基片集成系统。相关代表作合计正面他引350余次。4、在基片集成波导天线辐射机理研究的基础上,突破了经典Elliott设计公式的局限性,建立了相应的分析模型和设计方法,发展了一系列新颖的高性能基片集成类天线及阵列,相关代表作由于其基础性和创新性被合计正面他引300余次。市场前景项目研究成果已获54项授权国家发明专利,其中部分专利已进行技术转让并应用于企业产品中。
东南大学 2021-04-11
微波毫米波新型基片集成类导波结构及器件
该项目以基片集成类导波结构的工作机理与创新应用为主线,对这类结构及器件的传输特性、损耗机理等基础科学问题进行了深入研究,提出了半模基片集成波导等多种新型平面导波结构,发展了相应的设计方法,并发明了一系列新型高性能微波毫米波器件,部分器件已得到实际应用。
东南大学 2021-04-10
微流体脉冲喷射仪及配套微流体器件制备仪
微流体数字化技术通过对裸结构的微喷嘴实施脉冲的惯性力,使微量流体在惯性力与黏性力交替作用下实现微流体的脉冲流动,从而实现数字化可控的微量流体的喷射,适用于液体微喷射、粉体微喷射等领域。 成熟度:基于非晶态玻璃材料毛细加工原理,进行了拉制、锻制、残余应力热处理等工序研究,制作了出微纳米级的微喷嘴、微管道。以玻璃微喷嘴制备仪为平台研究了不同拉制参数、锻制参数对微喷嘴几何形状的影响规律。基于微流体脉冲驱动-控制技术,分别采用拉制、锻制的微喷嘴稳定地制备了均一的微液滴。 微流体
南京理工大学 2021-04-14
硅基上III-V的直接外延及器件集成
采用光互连技术可以有效的解决集成电路进一步发展的尺寸限制同时可以极大的提高芯片间信息传输的速度和频率。Si基光子集成是实现集成电路光互联的核心技术和重要研究方向。然而,Si因为其间接带系的特性很难作为发光材料使得Si基光源的缺失成为制约Si基光子芯片的瓶颈,而传统Ⅲ-Ⅴ族材料如GaAs,InP等由于优良的光电转换效率已经在光电子器件领域得到广泛的应用。因此,Si基与Ⅲ-Ⅴ的集成是实现Si基光子芯片的一种理想途径。
南京大学 2021-04-14
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