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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
移动式医疗垃圾焚烧方舱
上海交通大学环境科学与工程学院大气污染控制团队参与研制的“医疗垃圾应急处置方舱”发往武汉驰援疫区,为科学战“疫”贡献交大力量。 “移动式医疗垃圾焚烧方舱”每个方舱为20尺标准集装箱大小,体积约为30立方米,包括固废粉碎方舱、焚烧方舱和烟气净化方舱三部分,为应急抢险救灾过程中生活垃圾、医疗垃圾、动物尸体等固废提供移动式的处置方案,实现垃圾减量和无害化处理,焚烧烟气也经过净化达标排放。 上海交大团队主要负责烟气净化工艺及方舱设计,环境科学与工程学院教授瞿赞介绍,医疗垃圾经焚烧处置关键在病毒病菌的去除,在方舱焚烧炉中以850度以上维持两秒焚烧,病毒无法在这种条件下存活,该技术正好支持当前武汉医疗废物无害化处置。项目组根据武汉防疫医疗垃圾处理的现场要求,对垃圾焚烧及烟气净化方舱进行了优化改进,每日可以焚烧、无害化处理医疗垃圾5吨。 由南京中船绿洲环保有限公司牵头,生态环境部南京环境科学研究所与上海交通大学参与联合研制的多功能机动高效环保装备,也是中国人民解放军陆军勤务学院牵头的“十三五”国家重点研发计划“高原高寒地区灾害现场安置装备关键技术与装备研究及应用示范”项目成果,今年1月在青海格尔木通过军方验证试验。
上海交通大学 2021-04-10
一种塑料垃圾吸收器
其他成果/n塑料垃圾吸收器,它是在塑料垃圾吸收器的外壳上部有手柄,手柄上面有按钮开关,在外壳的里面有吸料管,吸料管的下端是吸料口,另一端是风机,风机的下面是镍氢电池,镍氢电池的旁边是储料室,储料室的上部有顶盖,储料室下部有底盖,工作时,打开按钮开关,由镍氢电池供电的风机开始转动,塑料垃圾从吸料口通过吸料管被风机吸到顶盖附近,当储料室里面储存的垃圾较多时,按下底盖按钮,储料室里面的垃圾就被倒出来。
武汉轻工大学 2021-04-11
垃圾衍生燃料及低污染焚烧技术
内容介绍 垃圾衍生燃料及焚烧技术是以经过预处理的生活垃圾中的可燃成分 (包括塑料、橡胶、纸、纤维、木材等)为主要原料,配比适量的其它 燃料等物质制备出衍生燃料,简称RDF。与这种燃料配套使用的焚烧技术 可以回收高余热能,并且抑制二恶英低污染锅炉的排放。 该技术达到国内领先水平,可在城市生活垃
西北工业大学 2021-04-14
近零排放垃圾发电系统
近零排放垃圾发电锅炉及系统新技术联合了热解、燃烧和熔融等手段对垃圾 进行彻底无害化减容处理,利用热解产物燃烧产生的热量发电,对尾气进行化学、 物理等方法处理,实现近零排放。技术过程:对垃圾中可燃成分在裂解炉中进行 热解,产生 CH4、CO、H2 等燃气,燃气燃烧产生的高温烟气与水交换热量产生高 温水蒸汽,推动涡轮机发电。不可燃成分和热解残余固体被传送至高温熔融池进 行降解和高温消毒,热解产生的焦碳在熔池里进一步燃烧,最后在熔融池中形成 多孔状结构,可用作吸附剂利用。技术特点包括:(1)将垃圾热解、燃
上海理工大学 2021-01-12
泉州水处理、莆田水处理、厦门水处理
产品详细介绍   反渗透是一种以压力为推动力的膜分离过程。随着膜性能的提高,反渗透技术将发展成为进行分离、分级、提纯和富集的化工分离新技术。     反渗透技术的主要特点: 能耗低 结构紧凑 操作简单易维修 自动程度高 不污染环境     反渗透技术广泛应用于给水处理;城市自来水的净化;制取电力、医药、医疗和食品等行业的纯水、超纯水、注射用水和食用纯净水的制备;海水和苦咸水的淡化制取饮用水等。     反渗透系统由反渗透装置及其预处理和后处理三部分组成。反渗透系统的核心是反渗透装置,预处理是反渗透装置能否长期稳定运行的前提,后处理用以满足不同处理对象的最终产水水质指标
泉州市大华膜科技有限公司 2021-08-23
垃圾焚烧飞灰填埋成套技术集成
垃圾焚烧飞灰处理达标后在卫生填埋场分区处置是今后我国发达地区飞灰处置的主流途径,这类填埋场的污染形成途径、强度与控制方法均与传统原生垃圾填埋场不同,现有填埋场污染控制技术从环境和经济角度均不适用,亟需高效的控制技术。本项目依据处理后焚烧飞灰填埋的污染衍生途径,发展控制处理飞灰填埋作业中黏附作业机械、风吹飘散的飞灰颗粒化技术;同步集成飞灰溶解性盐分缓释技术;发展雨水近零渗入的处理飞灰填埋作业技术。依据所集成的飞灰填埋前处理和作业技术,进行现场运行验证及条件优化试验。项目旨在发展既能够提高填埋场污染控制的效果,也能改善污染控制的经济条件的集成技术;而且同步开展现场应用验证试验,使成果具备推广应用的条件。通过推广应用可以为焚烧飞灰填埋场的运行提供支撑条件。 同济大学固体废物处理与资源化研究所,近5年来已主持承担和完成国家973计划课题、863计划课题、国家自然科学基金面上/青年项目、国家863和科技支撑计划、国家重大科技专项子课题项目等20余项;相关成果分别获国家级科技奖励二等奖和省部级科技奖励一等奖、二等奖和三等奖多项;拥有授权中国发明专利40项。在长期的固体废物处理与资源化利用技术研究发展中,已积累了扎实的研究基础,特别是在生活垃圾填埋和焚烧方向,分别承担了国家973计划课题(可燃固体废弃物热转化过程中重金属的排放控制及关键污染物的协同脱除(编号2011CB201504),城市固废物-化-生相变及污染物产生(编号2012CB719801)),完成了国家863计划:城市生活垃圾生态填埋成套技术与设备(编号2001AA644010)、城市生活垃圾生态填埋成套技术及示范(编号2003AA644020),国家科技支撑计划:低成本可控制生活垃圾填埋关键技术(编号2006BAJ04A06-05)等10余项课题(子课题)的研究。 常州市生活废弃物处理中心是国内较早开展处理后达标焚烧飞灰在卫生填埋场处置的单位;在数年的实际运行中,面临了渗滤液收集管道阻塞等问题,也通过与同济大学的合作,探索了解决问题的方法,积累了一系列实用技术。目前,该中心二期续建工程已施工完毕,即将投入运行,正是集成各项新技术,开展试验研究的有利时机。为利用有利条件,发展行业共性技术,同济大学将联合该中心开展项目研究。
同济大学 2021-04-11
一种自反馈垃圾信息过滤方法
本发明公开了一种自反馈垃圾信息过滤方法。
电子科技大学 2021-04-10
智能巡检与捡垃圾机器人系统
智能巡检与捡垃圾机器人系统基于搭载的视觉、激光、IMU、编码器等传感器进行融合,实现机器人在居民小区、公园广场、街道、工业园区等典型环境下的高精度自主定位、建图与导航,同时基于建立的场景地图,采用深度学习对场景中的物体进行图像分割,识别出垃圾及其种类,获得垃圾的空间位姿信息,控制机器人完成捡垃圾任务,并进行垃圾的智能分类。智能巡检与捡垃圾机器人系统不仅具备常规巡视功能,执行巡检任务,还具有捡垃圾和智能分类功能。创新性强,技术水平先进,具有很高的经济和社会效益。
华中科技大学 2021-04-10
城市生活垃圾分选与综合利用
城市生活垃圾分选与综合利用技术的核心是利用机械等方法高效分选出垃圾不同成分,针对分选出的不同物质加以不同的资源化利用方式。垃圾分选及综合利用技术摈弃了传统上垃圾所有组分采用单一处理技术的思维模式,而是基于对生活垃圾基质组成、垃圾组份性质进行深入分析研究的基础上,通过一系列相互协作的分选设备将生活垃圾细分为有机质类、磁性物质、无机砖石类、塑料类、纸类、织物类等,并结合不同的资源化利用工艺①有机质制作有机肥工艺②废旧混合塑料制作塑木工艺③织物和纸等可燃物类制备衍生燃料(RDF)工艺等实现高值化利用。垃圾经分选综合利用之后只有少部分钝化物质需卫生填埋,减容率达90%以上。
西安交通大学 2021-04-11
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