本发明公开了一种三通道显微镜接口包括外壳、分光模块和筒 镜；外壳上具有三个透光孔；分光模块设置在外壳内部，包括平行设 置的第一二向色镜和第二二向色镜，入射的混合光经过筒镜落在第一 二向色镜上，产生第一透射光和第一反射光，其中第一透射光，通过 外壳上相应位置的透光孔出射，第一反射光落在第二二向色镜上，产 生第二透射光和第二反射光，第二透射光和第二反射光分别通过外壳 上相应位置的透光孔出射；入射光从筒镜到各透光孔像面的光

本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性

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