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一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法,步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上;②减薄硅器件晶圆,再刻蚀硅器件晶圆,形成盲孔;③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯);④刻蚀图案化介电质层,刻蚀掉盲孔底部的介电材料,保留盲孔侧壁;在基板上形成介电质孔,使介电质孔和盲孔同轴;⑤在介电质孔上沉积一层导电材料,作为导电层,形成导电孔;⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层;⑦移除基板,在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤,减少工艺时间并降低了费用;降低了寄生电容,提升了互连电性
华中科技大学 2021-04-14
一种三维微型模具的制造方法
本发明提供了一种三维微型模具的制造方法,在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形,将质量百分比 98%的H2SO4 与质量百分比 30%的 H2O2 按照体积比 2~4∶1 混合,采用此混合溶液对各硅片进行清洗,然后活化,再将活化后的硅片干燥,按层次迅速对准贴合,最后进行退火处理得到三维微型模具型腔。本发明能够制造出微米尺度的三维微型模具,具有精度高,成本低,柔性大的优点,适用于微齿轮轴、微阶梯轴、高深宽比三维微型结构等微机电系统(MEMS)器件模具的加工制造。
华中科技大学 2021-04-14
一种反推水库入库流量过程的测算方法
本发明公开了一种反演水库入库流量过程的测算方法,包括步骤:步骤 1,观测水库坝前水位获得 水库观测水位信息,收集水库出库流量数据;步骤 2,考虑水库入库流量过程连续性,建立优化目标函 数;步骤 3,采用拉格朗日法对优化目标函数中反推水库容量求偏导,获得反推水库入库流量的解析公 式;步骤 4,采用解析公式获得反推水库库容,根据反推水库库容反推获得水库入库流量。本发明能保 证水库入库流量过程光滑,避免流量出现负值或较大波动。
武汉大学 2021-04-14
一种基于显著区域的行人检测方法及系统
一种基于显著区域的行人检测方法及系统,搜集包含行人的正样本及不包含行人的负样本的数据集, 将归一化正样本和负样本为预设尺寸,然后分别从各正样本和负样本中提取协方差矩阵特征作为训练数 据,构成级联分类器;对于输入图像提取有效区域,进行先验概率的分析,对各有效区域提取协方差矩 阵特征,将所得结果输入分类器进行行人检测,得到有效区域是否为包含行人的局部区域,根据贝叶斯 分布由统计学推导出最优结果。 
武汉大学 2021-04-14
一种视频摘要中事件与背景的融合方法
本发明公开了一种视频摘要中事件与背景的融合方法。该方法在前景检测与目标跟踪的基础上,将事件与背景的融合问题分成事件预处理、背景帧选择、事件与背景融合三个步骤。首先对事件进行预处理,包括对事件按面积大小排序并调整局部亮度;然后,用事件投票的方式选择最优背景帧,使尽可能多的事件落在该帧背景上;最后融合事件与背景,根据当前位置的像素点在背景帧上的状态标志值和在图像块上的二值前景值选择使用泊松图像编辑方法融合或加权融合
华中科技大学 2021-04-14
一种输出空心激光光束的方法和装置
本发明公开了一种输出空心光束的方法,包括:(1)激光器产生 的实心光束,经整形系统整形为中空的环形泵浦光;(2)该中空的环形 泵浦光,沿光轴入射到耦合系统,该耦合系统将所述环形泵浦光变换 成合适直径大小的空心光束;(3)该空心光束从激光谐振腔的一端面耦 合进入谐振腔,对激光器增益介质进行泵浦,通过相位控制使得所述 谐振腔中的增益介质吸收泵浦光产生连续的空心激光输出。本发明还 公开了一种空心光束输出装置。本发明的装置和
华中科技大学 2021-04-14
一种光纤通信系统中的色散估计方法
本发明公开了一种光纤通信系统中的色散估计方法,包括下述 步骤:S1:获得色散值所对应的分数傅里叶变换阶次和间隔;S2:根 据变换阶次和间隔对光通信信号进行分数傅里叶变换后获得 Xα+π /2(u);S3:对 Xα+π/2(u)进行分数域上的自相关运算,获得对应的自 相关函数序列;并对自相关函数序列的模方进行积分,获得判决值; S4:利用比较大小的方法寻找所述判决值的最小值,并根据判决值的 最小值确定使变换后信号能量汇
华中科技大学 2021-04-14
一种基于谐振的磁场发生装置及其设计方法
本发明公开了一种基于谐振的磁场发生装置及其设计方法,相比于常见的磁场发生装置,其主要创新在于大幅提高了电到磁的转换效率,实现了低噪声、低谐波磁场的产生。在确定磁场发生线圈和检流电阻规格后,计算它们在工作频率 f 下的串联阻抗 ZL;利用串联阻抗 ZL 推算谐振电流比 Iratio 的最大值;根据期望的谐振电流比 Iratio,滤波器截止频率 f1、f2,通带纹波推导滤波器参数;最后对磁场发生装置组装调试。
华中科技大学 2021-04-14
一种高电压锂离子电池的制备方法
本项目是一种高电压锂离子电池的制备方法。按锂离子电池的常规方法组装制备,正极材料为碳包覆正极复合材料LiCoPO4/C,负极材料为锂或碳,电解液为加入添加剂的常规有机电解液,所述添加剂为噻吩、联苯和呋喃中的一种或两种以上任意比例的组合,添加剂的质量百分比用量为常规有机电解液的0.05-2%。本发明的优点是:1)通过对高电压正极材料进行碳包覆,可在材料颗粒表面形成均匀的导电薄膜,有助于锂离子的嵌入与脱出;2)噻吩等添加剂的作用保证了电解液组分的稳定性。该方法工艺简单、易于工业化,通过正极材料的改性和
南开大学 2021-04-14
一种频率可调谐的微波相移系统及方法
本发明属于微波光子学领域,公开了一种频率可调谐的微波相 移系统及方法,包括连续光载波经过分束后一束经过马赫曾德尔调制 器产生载波抑制的双边带光信号,另一束经相位调制器产生移相后的 光载波信号,两束光信号经合波后通过可调谐微环滤波器滤除其中的 一个一阶边带,得到一个频率搬移后的载波信号和一个相移后的载波 信号,再经光电探测器进行光电转换产生相移微波电信号;可通过改 变输入电压驱动信号的频率和可调谐微环滤波器的谐振波长,
华中科技大学 2021-04-14
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